판매용 중고 ULVAC SMD-450 #9269728

ULVAC SMD-450 스퍼터링 장비 (Sputtering Equipment) 는 박막을 다양한 응용 프로그램의 샘플에 배치하는 데 사용되는 고정밀 스퍼터 증착 시스템입니다. 이 장치는 마그네트론 스퍼터링 도구, 전자 빔 증발, 셔터리스 스퍼터 증착 에셋 (shutterless sputter deposition asset) 등 다양한 스퍼터링 옵션을 제공하는 멀티 챔버 머신으로 구성됩니다. SMD-450 Sputtering Model의 각 구성 요소 챔버는 독립적으로 작동하며 작동 압력이 최대 1.0 mTorr 인 자체 프로세스 컨트롤러를 사용합니다. 로드 락 챔버 (load-lock chamber) 는 장비에 샘플을 도입하는 데 사용되며, 필요한 경우 디가싱 및 샘플 준비 원심 분리기 작업을 수행하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 유리, 석영 및 세라믹과 같은 다양한 기질, Si, SiGe 및 Ge와 같은 결정 물질을 처리하는 데 사용될 수도 있습니다. 장치의 샘플 크기 범위는 5mm x 5mm에서 200mm x 200mm입니다. ULVAC SMD-450의 마그네트론 스퍼터링 머신은 Al, Cu, Au, Ta, Ag 및 Ni와 같은 금속 필름을 증착하는 데 사용될 수 있습니다. 이 도구는 최신 기술을 활용하여 잔류 스트레스가 적고 접착력이 뛰어난 고품질 박막 (Thin Film) 을 생산할 수 있습니다. 또한 SMD-450 (In Situ Plasma Monitoring Asset) 도 장착하여 퇴적된 필름의 속성을 정확하게 제어 및 측정 할 수 있습니다. ULVAC SMD-450의 전자 빔 증발 성분은 스퍼터링 챔버 측면에 장착 된 전자 빔 건을 사용합니다. 이 구성 요소는 특수 금속의 증착, 합금 증착, 실라이브 형성과 같은 증발 응용 분야에 이상적입니다. 공정 챔버의 기계적 셧터링 (shutterless shuttering) 을 요구하지 않고 여러 층의 재료를 지속적으로 퇴적시키는 능력으로 인해 SMD-450 (SMD-450) 에 통합되고 안정적인 처리 시간에 통합 된 셔터리스 스퍼터 증착 모델. 마지막으로, ULVAC SMD-450은 자동 온도 조절 장비 (Automated Temperature Control Equipment) 및 샘플 챔버에 대한 실시간 모니터 (Real-Time Monitor) 를 포함하여 광범위한 프로세스 제어 옵션을 제공합니다. SMD-450 은 안정적이고 고정밀도 높은 스퍼터링 시스템으로, 광범위한 애플리케이션에 대해 정확하고 반복 가능한 증착 결과를 제공할 수 있습니다.