판매용 중고 ULVAC SH 450 #9134632

ULVAC SH 450은 초저진공 챔버가있는 물리적 증기 증착 (PVD) 스퍼터링 장비입니다. 박막 기능 재료 개발에 사용되는 소형 고성능 스퍼터링 시스템입니다. 이 장치는 마이크로 일렉트로닉스, 디스플레이, 광학 시스템, 박막 태양 전지 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. SH 450의 주요 구성 요소에는 챔버, 로드 잠금, 스퍼터링 건, 가스 인젝터, 배기 기계 및 전원 공급 장치가 포함됩니다. 챔버 (Chamber) 는 압력이 낮은 4 Pa (Pa) 를 처리하도록 설계되어 고정밀도 및 반복성으로 고품질의 박막 재료를 증착합니다. 내부 스퍼터 건 (Sputter Gun) 은 기판 전체에서 매우 균일 한 두께를 달성 할 수있는 정확하게 제어 된 필름 증착률을 생성 할 수 있습니다. 로드 잠금은 최대 6 개의 기판을 수용 할 수 있으며, 빠른 기판 교환이 가능합니다. "가스 '" 인젝터' 와 배기 "도구 '는 챔버' 내부 의" 가스 '압력 과 "가스' 순도 를 조절 하는 데 필요 한 수단 을 제공 한다. ULVAC SH 450 의 전원 공급 장치는 목표에 전달되는 전력과 전압을 정확하게 조절하도록 설계되었습니다. SH 450 스퍼터링 에셋은 균일성이 높은 박막 레이어를 생산하는 데 탁월한 성능을 보여줍니다. 멀티 레이어 스택뿐만 아니라 단일 레이어의 고속 증착도 모두 제공합니다. 이 모델은 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 제어 및 모니터링할 수 있습니다. 장비에는 장애 신호를 감지하고 증착 (deposition) 과정을 중단할 수 있는 보호 장치가 내장되어 있다. ULVAC SH 450은 다양한 시장에 이상적인 다목적 스퍼터 시스템입니다. 컴팩트한 디자인, 초저진공실 (ultra-low vacuum chamber), 효율적인 전원 공급 장치는 다양한 코팅 어플리케이션에 적합합니다. 단일 레이어의 간단한 증착에서 다양한 레이어의 복잡한 중첩 (superimposition) 에 이르기까지, 이 장치는 고품질 및 반복 가능한 박막 레이어를 생성합니다. 또한, 이 시스템은 여러 소스 자료 (source materials) 와 호환되므로 사용자가 제품 개발에 더 많은 유연성을 가질 수 있습니다.