판매용 중고 ULVAC MLX-3000N #9236593

ULVAC MLX-3000N은 진공 기술 분야의 세계적인 리더 인 ULVAC가 만든 스퍼터링 장비입니다. MLX-3000N은 전자, 광전자 (optoelectronics), 반도체 등 다양한 기판에 박막 및 코팅을 입금하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 고순도 가스로 고출력 스퍼터링 (Sputtering) 을 사용하여 뛰어난 전기 및 광학 특성을 가진 얇고 균일 한 필름을 만듭니다. ULVAC MLX-3000N은 최대 2500W의 강력한 스퍼터링 전원 공급 장치와 고밀도 Ar/O2 및 Ar/N2 스퍼터링을 위해 설계된 고전압 EC 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 이 장치는 하이브리드 구성에서 최대 3 개의 CVD/스퍼터링 소스와 4 개의 이온 소스를 사용하여 경쟁 시스템보다 더 높은 필름 두께의 멀티 컴포넌트 필름을 증착 할 수 있습니다. 멀티 소스 설계를 통해 프로세스 시간을 단축하고 프로세스 유연성을 높일 수 있습니다. 이 기계의 자동 온도 조절, 기판 스테이징 (기판 스테이징) 및 현장 (in-situ) 프로세스 모니터링은 대규모 생산에 반복 가능한 결과를 보장합니다. MLX-3000N은 또한 하중 잠금 기술을 통해 기판 오염을 줄이고 처리량을 증가시킵니다. 이 도구는 지능형 (Intelligent), 적응형 (Adaptive) 소프트웨어를 사용하여 각기 다른 재료 및 프로세스 매개변수에 대해 자체 최적화할 수 있습니다. ULVAC MLX-3000N은 또한 전자 빔 증발기, 플라즈마 이온 보조 증착 시스템과 같은 다른 ULVAC 기술과 쉽게 결합하여 정확한 요구를 충족하는 맞춤형 스퍼터링 시스템을 만들 수 있습니다. 탁월한 성능과 안정성을 갖춘 MLX-3000N은 대규모 생산에 적합합니다.