판매용 중고 ULVAC MCH-4500 #58270

ULVAC MCH-4500은 다양한 재료에 고품질의 박막 증착 기능을 제공하는 다재다능한 스퍼터링 장비입니다. 시스템에는 3 개의 스퍼터링 대상이 있으며, 각 대상을 독립적으로 회전하는 옵션이 있습니다. 이를 통해 사용자는 두 가지 다른 재료로 공동 스퍼터링을 효과적으로 수행 할 수 있습니다. "스퍼터 '동력 은 0 내지 2000W 에 이르는 각 표적 에 대해 개별적 으로 조정 할 수 있으며, 여러 가지" 가스' 를 사용 할 수 있다. MCH-4500은 바이어스 스퍼터링 (bias sputtering) 과 최대 이온 전류 600mA의 연속 이온 빔 폭격을 지원합니다. ULVAC MCH-4500의 유효 목표 면적은 450mm x 350mm이며, 최대 210mm 직경의 웨이퍼를 증착 할 수 있습니다. 편리한 샘플 로드 트레이를 사용하면 웨이퍼를 빠르고 쉽게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 또한, 특수 차폐 기술 (special shielding technique) 을 사용하면 실내가 여전히 높은 진공 상태에서 유지되는 동안 챔버 벽을 시원하게 유지할 수 있습니다. 이러 한 냉각 방법 은 방벽 에 있는 원치 않는 "필름 '이나 재료 의 증착 을 막는 데 도움 이 되며, 공정 의 반복성 을 증가 시킬 수 있다. 챔버는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 챔버 내부의 균일 한 이온 폭격 및/또는 플라즈마 생성을 위해 강한 당황한 구조를 사용합니다. 이 당황스러운 디자인은 또한 증착 중에 챔버를 깨끗하게 유지하고 스퍼터 (sputtered) 재료로 인한 필름 오염을 최소화하는 데 도움이됩니다. 또한이 장치는 부동 기판 홀더 (floating substrate holder) 로 설계되어 웨이퍼 레벨리스를 보장하여 균일 한 박막 증착을 허용합니다. 프로그래밍 가능하고, 반복 가능하며, 재현 가능한 필름 증착을 위해 MCH-4500은 터치패드 작동 컴퓨터 제어 머신과 함께 제공됩니다. 소프트웨어는 고정 스퍼터링 전류, 증착 두께, 에치 속도 등 다양한 작동 모드를 제공합니다. 이를 통해 ULVAC MCH-4500은 빠른 열 어닐링, 광학 박막 코팅, 고급 장치 제작과 같은 어플리케이션에 적합합니다. ULVAC-MCH-4500은 다양하고 강력한 스퍼터링 도구를 제공하며, 다양한 박막 증착 프로세스에 적합합니다. 목표물을 정확하게 회전시키고, 스퍼터 전원을 조정하고, 깨끗한 챔버를 유지하고, 쉽게 프로그램 매개 변수를 만들 수있는 ULVAC MCH-4500은 강력하고 반복 가능한 박막 증착 기능을 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.