판매용 중고 ULVAC Ceraus Z-1000 #9198163

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ULVAC Ceraus Z-1000
판매
ID: 9198163
웨이퍼 크기: 6"
Sputtering systems Process: METAL.
ULVAC Ceraus Z-1000은 고정밀 스퍼터링 장비로, 증착 공정에 대한 뛰어난 제어를 위해 설계되었습니다. 이 "시스템 '은 여러 가지 산업 목적 을 위하여, 여러 가지 형태 의 기판 에 유기 혹은 무기 물질 의 얇은" 필름' 을 적용 하는 데 사용 될 수 있다. 주로 전자, 자동차, 의료 기기 및 광학 부품 제조에 사용됩니다. Ceraus Z-1000은 거리 범위를 최대 19 인치까지 기판 할 수있는 목표를 가지고 있으며, 강렬한 120kHz RF 전원 공급 장치를 갖추고 있으며, 정확하고 제어 된 증착 공정을 제공합니다. 온보드 전자 제품 (On-board electronics) 은 샘플의 회전 각도 및 속도, 여러 대상 및 기판 유형에 대한 타이밍 및 전원 공급 장치를 제어합니다. 이 장치에는 최대 80 리터의 진공 챔버도 포함됩니다. 이 큰 양은 펌핑 속도 향상, 진공 작동 속도 감소, 고화질 증착 (High Definition Deposition) 결과에 대한 탁월한 저항력을 제공합니다. ULVAC Ceraus Z-1000에는 가스 박스, 다중 게이지가있는 비활성 가스 라인, 챔버의 압력을 제어하기위한 무유 고진공 펌프, 압력 게이지 등 다양한 액세서리가 포함됩니다. 이러 한 "액세서리 '들 을 모두 함께 사용 하여 여러 종류 의 기판 및 표적 재료 들 에 대한 여러 가지 공정" 레시피' 를 만들 수 있다. 뿐 만 아니라, 기계 에는 "바이어스 '전압 을 만드는 데 사용 할 수 있는 내부 발전기 가 있는데, 이것 은" 스퍼터링' 과정 을 가속화 시킬 수 있다. 바이어스 전압 (bias voltage) 은 증착 후 열 처리에 사용되어 박막 층의 특성을 수정할 수도 있습니다. Ceraus Z-1000은 고급 데이터 수집 및 분석 기능도 제공합니다. 이 도구는 증착 프로세스 전반에 걸쳐 데이터를 모니터링할 수 있는 소프트웨어에 연결할 수 있습니다. 따라서 프로세스 변수를 정확하게 제어하여 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 자산은 광학 방출 분광계와 쌍을 이룰 수 있으며, 이는 즉시 품질 점검 (quality check) 과 조정 (adjustment) 을 가능하게 합니다. 전반적으로 ULVAC Ceraus Z-1000은 스퍼터링 프로세스를 정확하게 제어하는 뛰어난 모델입니다. 세라우스 Z-1000 (Ceraus Z-1000) 은 대형 챔버 사이즈, 온보드 일렉트로닉스, 액세서리를 통해 다양한 업계에서 사용할 수 있도록 고품질의 박막 계층을 배치하는 완벽한 장비입니다.
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