판매용 중고 TRIKON / ELECTROTECH MS 6210 #9023455

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TRIKON / ELECTROTECH MS 6210
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ID: 9023455
Metal deposition sputtering system.
TRIKON/ELECTROTECH MS 6210은 안정적이고 반복 가능한 기판 에칭을 제공하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 탁월한 선택성과 균일성을 가진 뛰어난 스퍼터링 된 영화를 제작할 수 있습니다. 이 시스템은 3 개의 고성능 마그네트론 소스 (magnetron source) 와 고급 광 장치 (optical unit) 를 사용하여 불균일성이 최소화된 레이어를 만듭니다. 마그네트론 소스 (magnetron source) 는 기판에 스퍼터 된 물질의 균일 한 증착에 대한 높은 전력 요구 사항을 특징으로합니다. 이 기계는 업계 표준 RF (Radio Frequency) 전원 공급 장치를 사용하여 최상의 결과를 보장합니다. 증착환경 (deposition environment) 은 튜닝이 가능하므로 운영자가 각 개별 작업에 필요한 요구 사항에 맞게 증착률, 균일성, 선택성을 제어할 수 있습니다. TRIKON MS 6210 스퍼터링 도구 (sputtering tool) 는 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이하며, 연구 및 산업 환경 모두에서 사용하기에 적합합니다. 진공 환경 (vacuum environment) 에서 완벽하게 작동하도록 설계되었으며, 열 관리 기능이 뛰어나 고온 (high temperature) 환경에서 사용할 수 있습니다. 자산에는 스퍼터링 프로세스를 모니터링 및 제어하기 위한 원격 컴퓨터 인터페이스 (Remote Computer Interface) 가 장착되어 있습니다. 또한 모델 프로그래밍을 위해 소프트웨어 패키지와 호환됩니다. 이렇게 하면 장비 프로세스를 쉽고, 빠르게 설정하고, 최적화할 수 있습니다. ELECTROTECH MS-6210 시스템은 일정하고 깨끗한 박막 레이어를 유지하도록 설계되었습니다. 태양 전지, 반전 방지 코팅 (anti reflection coating), 가스 센서 등 다양한 응용 분야에서 유전층 생산에 사용될 수 있습니다. 또한, 금속, 백금 및 기타 전도성 물질 층을 증착시키는 데 유용 할 수있다. 이 장치는 모듈식 (modular) 설계를 통해 다양한 어플리케이션에 맞게 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 스퍼터 소스 (sputter source) 를 신속하게 교환하여 다운타임을 최소화하고 주기 시간을 단축합니다. 또한, 기계의 프로세스는 매우 자동화되어 공구 (Tool) 의 작동에 대한 높은 수준의 제어가 가능합니다. 전반적으로, ELECTROTECH MS 6210 스퍼터링 자산은 안정적이고 반복 가능한 결과를 보장하기 위해 기능이 장착 된 고급 고성능 스퍼터링 도구입니다. 사용, 유지 관리, 컴퓨터 소프트웨어 패키지와 호환되며, 다양한 어플리케이션에서 박막 증착 (Thin Film Deposition) 을 지속적으로 유지할 수 있습니다.
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