판매용 중고 TRIKON / ELECTROTECH MS 6210 #178693

TRIKON/ELECTROTECH MS 6210 (TIKON/ELECTROTECH MS 6210) 은 다양한 기판에 다양한 재료의 박막을 배치하도록 설계된 매우 복잡한 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 초고진공실, 컨트롤러, 전원 공급 장치로 구성됩니다. 챔버는 터보 펌프 속도가 초당 3.2 리터 인 최대 1.33 x 10-6 Pa 진공을 유지하도록 설계되었습니다. 컨트롤러가 전원 공급 장치에 연결되어 있어 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 장치의 챔버 (chamber) 는 원통형이며 상단 장착 챔버 플랜지와 상단 장착 드레인 포트가 장착되어 있습니다. 챔버 플랜지 (chamber flange) 는 기판을 쉽게 적재 및 언로드할 수 있도록 3 개의 암 및 콘 포트로 설계되었습니다. 하단 장착 질소 가스 포트 2 개와 상단 장착 가스 입구 2 개가 있으며, 기계 내 활성 가스 흐름을 정확하게 제어합니다. 방은 4 개의 열전 히터 (thermoelectric heater) 에 의해 가열되어 기질의 가열 된 표면을 균일 하게 적용 할 수 있습니다. 진공 공구는 2 개의 터보 분자 펌프, 다양한 진공 게이지 및 챔버 진공 매개변수의 정확한 모니터링을위한 이온 게이지 (ion gauge) 로 구성됩니다. 자산에는 스퍼터링 된 필름의 오염을 최소화하기 위해 오염 방지 셔터 (anti-contamination shutter) 와 거친 밸브 (roughing valve) 가 장착되어 있습니다. 이 모델의 전원 공급 장치 (power supply) 는 전압 (voltage) 과 전류 (current) 의 변동에 관계없이 스퍼터링 소스에 안정적이고 균일한 전원 공급 장치를 공급할 수 있습니다. 전압 및 전류 제어가 독립적인 3 개의 제어 채널이 있으며, 이를 통해 전원 공급 장치와 스퍼터 속도 (sputter rate) 를 정확하게 조정할 수 있습니다. 컨트롤러는 전원 공급 장치에 연결되어 있으며, 듀티 사이클 (duty cycle), 스퍼터 속도 (sputter rate), 대상 재료 (target material) 와 같은 스퍼터 절차의 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. TRIKON MS 6210 스퍼터링 장비는 균일성이 매우 높고 표면 매끄러움을 가진 필름을 생산할 수 있습니다. 또한 유리, "스테인레스 '강," 실리콘' 등 여러 가지 기판 에 "필름 '을 증착 할 수 있으며, 뛰어난 접착력 과 뛰어난 광학 특성 이 있다. 이 시스템은 사용하기 쉽고, 스퍼터링 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다.