판매용 중고 TECPORT Cantata #9124385
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ID: 9124385
Ion Beam Sputtering (IBS) System
3-Grid RF Beam
Control interface
Vacuum chamber: Symphony 8; 800mm W x 800mm D x 700mm H
Frame assembly: Tecport with duct system
Rotation system: planetary, (4) 88mm diameter substrate holders
Substrate heater: Eurotherm, SCR halogen heater
Temperature controller: Eurotherm 2408 PID programmable
High vacuum pumping system: Helix CTI OB 320 cryopump with 9600 compressor
Low vacuum pumping system: Edwards
Vacuum gauge controller: Granville-Phillips 307
Vacuum gauge: Granville-Phillips: (2) convectron gauge, (1) tubular ion gauge
Optical monitor system: Intellevation IL 550 Series
RF ion source: KRI 14cm RF ICP gridded ion source package
Target assembly: Tecport, (3) 12" assemblies with automatic indexer
Ion source: KRI EH400HC with hollow cathode electron source
Rack system: Tecport
UPS: MGE Pulsar Extreme M22000RT-2U
Computer: Dell PowerEdge 2950
Touch screen: (2) 15" ELO Intellitouch
Keyboard and mouse
PLC: Allen-Bradley ControlLogix 1756
Kiosk stand: Tecport
(5) MFC: (2) RF ion source, (2) End-hall ion source, (1) HCES
Auto pressure controller: Apex
Shields: Tecport
Software package: Symphony OPUS
Load lock package: Tecport.
TECPORT Cantata는 산업 응용 분야를 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 그것 은 강력 한 진공 증착 기술 로 구성 되어 있으며, 이 기술 은 "박막 '을 광범위 한 기판 으로 증착 시킬 수 있게 해 준다. 이 시스템의 컴팩트 (compact) 설계를 통해 여러 생산 영역에 적합하며, 구성 요소에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 칸타타 스퍼터링 장치는 진공 증착실, 증발 원, 턴테이블, 공정 제어 및 진공 펌핑 머신으로 구성됩니다. 진공 공구는 전방 진공 챔버, 1 차 진공 챔버 및 로드 락으로 구성됩니다. 증발 원은 세라믹 또는 쿼츠 도가니 (crucible) 로 만들어지며 최대 3 개의 타겟을 입힐 수 있습니다. 턴테이블은 여러 기판을 동시에 처리하여 생산성을 크게 높입니다. TECPORT 칸타타 (TECPORT Cantata) 의 고급 프로세스 제어 자산은 정확하고 일관된 증착률을 제공하여 양질의 부품을 일관되게 제공합니다. 이 모델은 알루미늄, 금, 다양한 산화물 층 (oxide layer) 을 포함하여 여러 층의 물질을 기판에 증착 할 수 있습니다. "칸타타 '장비 의 산물 은 전기 와 광학 의 뛰어난 특성 을 가지고 있어서, 다양 한" 응용프로그램' 에 이상적 이다. TECPORT Cantata 스퍼터링 시스템도 매우 쉽습니다. 사용자 친화적 인 터치스크린 인터페이스를 활용하여 운영자가 신속하게 배치 (deposition) 프로세스를 설정하고 실행할 수 있습니다. 이 장치는 또한 다양한 진단 도구 (diagnostic tools) 를 갖추고 있으며, 운영자가 프로세스를 실시간으로 모니터링하고 필요에 따라 조정할 수 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 Cantata는 거의 모든 산업 진공 증착 응용에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다. TECPORT Cantata 스퍼터링 머신은 안정적이고 반복 가능하며 효율적인 증착 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 소형과 결합된 고급 (advanced) 기능은 대규모 및 소규모 (small-scale) 생산에 적합합니다. Cantata는 강력한 진공 증착 (vacuum deposition) 기술을 통해 업계 응용프로그램을 위한 다용도 및 비용 효율적인 솔루션을 운영자에게 제공합니다.
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