판매용 중고 SUNIC IS-3000 #9153236

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SUNIC IS-3000
판매
ID: 9153236
웨이퍼 크기: 12"
Sputtering system, 12".
SUNIC IS-3000 스퍼터링 장비 (Sputtering Equipment) 는 박막 구조를 제조 할 때 가장 높은 수준의 프로세스 제어를 제공하기 위해 설계된 고급 스퍼터 증착 도구입니다. IS-3000 시스템은 소형, 스퍼터 차폐, 3 개의 마그네트론 전원 공급 장치, 3 개의 스퍼터 소스 및 선택적 기판 히터로 구성됩니다. 컴퓨터 제어 플랫폼은 실시간 시스템 제어 및 데이터 디스플레이 (그래픽 사용자 인터페이스 포함) 를 제공합니다. SUNIC IS-3000의 독특한 디자인은 금속, 산화물, 질화물 및 기타 화합물에서 다양한 물질을 스퍼터링할 수 있습니다. 증착 재료 (deposition material) 에 따라 실온 또는 고온에서의 스퍼터링 (sputtering) 은 선택적 기판 히터를 사용하여 가능하므로 복잡한 형태와 개선 된 재료 특성을 가진 박막 (thin film) 을 제조 할 수 있습니다. 히터 (heater) 를 사용하면 기질에 대한 넓은 면적의 균일성과 균질성이 허용됩니다. IS-3000 의 고급 전력 제어 (Advanced Power Control) 는 높은 정확성과 반복 가능한 프로세스를 가능하게 하며, 증착율 (Deposition Rate) 의 균일성과 총 증착 필름 두께의 균일성을 완벽하게 제어합니다. 이렇게 하면 서피스 구조 및 조성에 대한 제어가 개선된 레이어 (layer) 를 배치할 수 있습니다. 3 개의 독립적 인 스퍼터 소스 (sputter source) 는 재료를 대량 또는 다른 재료로 증착시켜 필름 품질을 높이고 필름 비율이 향상된 더 큰 영역 필름 (area film) 의 증착을 가능하게합니다. SUNIC IS-3000 도구의 소형 크기, 견고한 구성 및 소프트웨어 안정성은 UV 리소그래피 및 OLED 장치 제작에 이상적인 선택입니다. IS-3000 은 마스크 (Mask) 와 기판 (Substrate) 의 도입을 위해 유연성을 더하여 다양한 기판 모양과 크기를 지원하며, 이를 통해 사용자는 증착 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 이 자산은 자동 로드/언로드 플랫폼 (Automated Loading and Unloading Platform) 의 통합을 지원하여 인건비 절감 효과를 제공합니다. 또한, 이 모델에는 박막 (thin film) 의 증착률 및 품질을 모니터링하는 모니터링 기능이 있습니다. SUNIC IS-3000 스퍼터링 (sputtering) 장비는 증착 프로세스를 정확하게 제어하고 다양한 애플리케이션의 프로세스를 유연하게 구성할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템의 견고한 구성과 소프트웨어 안정성 (Software stability) 은 박막의 증착 및 제작의 뛰어난 균일성을 위해 최고의 수준의 필름 (film-to-substrate) 상호 작용과 최소화 된 필름 간 상호 작용을 제공합니다. 광범위한 기능과 액세서리를 갖춘 IS-3000 (IS-3000) 은 다양한 애플리케이션을 위한 안정적인 선택입니다.
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