판매용 중고 PERKIN ELMER 4410 DC #9183220

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ID: 9183220
Plasma sputter system P/N: 222-226-310 Gases: O2, Ar, Ni, Si3N4, Cu, Ag, Au, Ti, Si, Ni, SiO3, Al Currently de-installed.
PERKIN ELMER 4410 DC 스퍼터링 장비는 금속, 산화물, 반도체 및 세라믹과 같은 박막 재료의 증착이 필요한 응용 분야를 위해 설계된 강력한 박막 증착 시스템입니다. 직류 (DC) 및 무선 주파수 (RF) 스퍼터 소스와 이온 빔 소스를 포함한 다양한 증착 소스를 제공합니다. 이 장치는 견고성과 낮은 운영 비용을 특징으로합니다. 4410 DC 스퍼터링 머신은 단일 패스에서 최대 2 센티미터 두께의 박막을 증착 할 수 있습니다. 이 도구는 DC 또는 RF 스퍼터링 프로세스를 사용하여 전기 전도성, 절연 또는 반도체 박막을 증착합니다. 이 다재다능한 자산은 사진 마스킹, 의료 진단, 반도체 제조, 도량형과 같은 응용 프로그램을 제공 할 수 있습니다. 스퍼터링 모델 (Sputtering Model) 은 공정 안정성을 높이기 위해 안정적이고 긴 수명의 스퍼터 소스를 사용하며, 이는 챔버에서 유리한 분위기를 유지하기 위해 효율적인 터보 분자 펌핑 장비로 더욱 개선됩니다. 안전 측면에서, 시스템에는 듀얼 모드 프로세스 안전 및 비상 셔터가 장착되어 있습니다. PERKIN ELMER 4410 DC의 또 다른 매력적인 기능은 통합되고 사용하기 쉬운 프로세스 컨트롤러입니다. 직관적인 사용자 정의 프로세스 제어 언어 (process control language) 를 사용하면 단위 매개변수를 구성하고 어디서나 원격으로 제어할 수 있습니다. 최대 기본 압력 2x10-7 Torr의 4410 DC는 박막 증착에서 균일성을 달성합니다. 이 기계는 또한 0.1 ° C/min (PID 닫힌 루프 포함) 이상의 온도 제어 정확도와 피치 정밀도 ± 0.05nm/min의 박막 속도를 포함한 고급 외부 컨트롤을 포함합니다. PERKIN ELMER 4410 DC 스퍼터링 도구는 고정밀도, 고속, 비용 효율적인 박막 증착이 필요한 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. 신뢰할 수 있고, 견고한 디자인과, 뛰어난 성능으로, 산업용 박막 증착 어플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다.
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