판매용 중고 PERKIN ELMER 2400 #9255143

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ID: 9255143
Sputtering system.
퍼킨 엘머 (PERKIN ELMER) 2400은 다양한 기판에 대상 재료의 박막을 만드는 데 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 그것 은 여러 가지 크기 와 형태 로 얇은 "코우팅 '을" 코우팅' 할 수 있는 진공 증착 장비 의 일종 이다. 2400은 1 인 UHV 스퍼터링 증착 시스템입니다. 4 "x4" 각도 컷 챔버 23 "길이에 2 개의 11" 라운드 타겟이 있습니다. 챔버에는 표면 전하를 무력화시키는 RF 드라이브가있는 이온 소스 (ion source) 와 작동 중 박막 구성 제어 (thin film compositional control) 가 포함되어 있습니다. 표적 재료 는 증착 "플래튼 '과 기판" 홀더' 위 에 놓이게 되며, 이것 을 통해 표적 재료 를 기판 으로 매우 정확 하게 정렬 할 수 있게 된다. 이 장치는 표준 또는 사용자 정의 챔버 구성으로 작동 할 수 있습니다. 냉각된 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 기술로 설계되었으며, 전용 3KW 전원 공급 장치를 갖추고 있어 다양한 스퍼터링 재료를 사용할 수 있습니다. 또한 가스의 빠르고 효율적인 배기를 위해 가열식 터보 펌프 (turbo-pump) 를 갖추고 있어 뛰어난 필름 및 부품 성능을 제공합니다. 이 챔버에는 표준 압력 측정 및 제어 머신 (Control Machine) 이 장착되어 안정적이고 저압 증착 환경을 보장합니다. PERKIN ELMER 2400은 기판 및 표적에 대한 온도 조절을 제공합니다. 기판 홀더는 최적화 된 접착 및 향상된 필름 품질을 위해 최대 400 ° C까지 가열됩니다. 목표 가열은 스퍼터링 조건을 개선하여 증착률이 높습니다. 또한, 이 도구에는 사용자의 특정 증착 요구 사항에 맞게 쉽게 프로그래밍 할 수있는 프로그래밍 가능한 프로세스 컨트롤러 (programmable process controller) 가 포함되어 있습니다. 2400은 박막 증착 응용 프로그램에 신뢰할 수있는 옵션입니다. 사용하기 쉽고, 최소한의 유지 보수가 필요하며, 일관되고 안정적인 스퍼터링 (sputtering) 증착 결과에 대한 신뢰성이 높습니다. 탁월한 성능, 유연성, 품질로 인해 업계 어플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다.
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