판매용 중고 PERKIN ELMER 2400 #9022812

PERKIN ELMER 2400 Sputtering System은 기판의 박막, 나노 구조 및 멀티 레이어 스택에 대한 정확한 증착 계층을 제공하는 세계 최고의 스퍼터링 도구입니다. 정밀 코팅에서 옵토 전자 및 MEMS 기반 장치의 제작에 이르기까지 다양한 어플리케이션에 이상적입니다. 견고하고, 처리량이 많은 설계로, 정확성과 정밀도로 높은 증착율로 균일 한 스퍼터링을 달성 할 수 있습니다. 이 기계에는 직경 200 밀리미터 (200 mm) 의 기판을 수용 할 수있는 가변 면적로드 락 챔버 (variable-area load-lock chamber) 와 여러 금속과 광범위한 합금을 스퍼터링 할 수있는 여러 행성 목표물이 장착되어 있습니다. 대상은 특허받은 스퍼터리스 (Sputter-less) DC 전원에 장착되어 있으며 독립 RF 소스가 장착 된 최대 6 개의 대상을 동시에 구동할 수 있습니다. RF 발전기와 결합 된 고전압 DC 소스는 넓은 지역에 걸쳐 균일 한 코팅을 가능하게하며 목표 온도 (최대 400 ° C) 에서 우수한 증착률을 제공합니다. 2400은 나노 구조, 박막 스택 및 기타 재료 기반 장치를 일관된 품질과 반복 가능하게 하는 온도 의존적 (temperent-dependent) 프로세스 제어 기능을 갖추고 있습니다. 해상도가 ± 0.1 ° C인 피로미터를 사용하여 온도 균일성과 재생성을 모니터링합니다. 고급 RF 프로세스 모니터링은 기판 온도에 대한 실시간 피드백을 제공하여 최적의 기판 정화 및 증착 결과를 보장합니다. 이 시스템은 또한 바닥 스탠딩 엔드 이펙터를 갖춘 수직 스퍼터링 기술을 사용하여 3D 코팅을 가능하게합니다. 최적의 코팅 결과를 위해 펄스 주파수 (pulse frequency) 와 너비 프로파일 (width profile) 을 변경하는 데 사용할 수있는 온보드 프로그래밍 가능한 펄스 생성기가 장착되어 있습니다. 챔버에서 호스팅되는 스캐닝 전자 현미경을 사용하여 증착 과정을 모니터링 할 수 있습니다. PERKIN ELMER 2400은 샘플로드 및 언로드, 기판 처리 및 증착에 필요한 다양한 도구가 장착 된 최대 9 개의 서로 다른 총검 장착 페달을 수용하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스가 있으며 전체 소프트웨어 호환성을 갖춘 완전한 CAM (Computer-Aided Manufacturing) 제어를 제공합니다. 2400은 고성능 스퍼터링 어플리케이션에 이상적인 솔루션으로, 탁월한 정밀도, 안정성, 처리량을 제공합니다.