판매용 중고 OERLIKON / BALZERS Sprinter #9031245

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ID: 9031245
웨이퍼 크기: 5"
빈티지: 2001
Sputtering systems, 5" Process: (1 unit) Blue-ray, (1 unit) DVD-RW (9) DVD Chambers (5) DC power (3) RF power Cathodes: ARQ21 ITO touch panel 1. ARQ21 DC 2. ARQ21 RF 3. ARQ21 RF 4. ARQ21 RF 5. ARQ21 RF 6. ARQ21 RF 7. ARQ21 DC 8. ARQ2121CS-2 9. ARQ21 DC Currently de-installed 400 V (3L+N+PE), 50/60 Hz 2001 vintage.
OERLIKON/BALZERS Sprinter 스퍼터링 장비는 박막 코팅을 재료에 적용하는 데 사용되는 고급 증착 도구입니다. 이 시스템은 생산 속도 (production rate) 와 증착 균일성 (deposition unifority) 을 최대화하여 고정밀 증착 공정에 대한 뛰어난 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. BALZERS Sprinter 유닛은 높은 진공 마그네트론 스퍼터링 기술을 사용하여 높은 진공 챔버에 목표를 둡니다. 표적 주위 에 전기장 이 생성 되는데, 이 전기장 은 스퍼터링 (스퍼터링) 부위 를 기화 시키고 그 물질 을 아래 기판 에 증착 시킨다. 내장 가스 흐름 모니터링 머신은 최적의 증착 조건을 위해 올바른 압력, 유량, 온도가 유지되도록 합니다. 이 도구는 컴팩트 한 구성으로 최대 12 개의 타겟으로 작동 할 수 있으며, 동시에 여러 재료 증착이 가능합니다. 교환 가능한 대상 보유자 (Interchangable Target Holder) 를 사용하면 특정 증착 프로세스에 적합한 재료 조합을 쉽게 선택할 수 있습니다. 자산을 자동으로 조정하면 정확한 증착률과 균일성이 보장됩니다. OERLIKON Sprinter는 금속, 산화물, 질화물 등 다양한 물질의 증착에 적합합니다. 또한 고 처리량 증착이 가능하며 마이크로 일렉트로닉 부품, 광학 부품, 의료 임플란트 코팅에 이상적입니다. 정밀한 제어 기능을 통해 박막 트랜지스터 (Thin Film Transistor) 와 같은 복잡한 구조를 정확하게 배치 할 수 있습니다. 이 모델에는 사용자 친화적 인 소프트웨어가 포함되어 있으며 최대 99 개의 증착 레시피를 프로그래밍할 수 있습니다. 또한, 사용자는 운영 내역을 절약하여 동일한 증착 프로세스를 편리하게 재현할 수 있습니다. 스프린터 스퍼터링 장비는 안정적이고 효율적이며 사용자 친화적입니다. 고정밀 증착 공정에 적합하며, 우수한 수율 및 증착 균일성을 제공합니다. 고급 기술 제품의 제조업체 및 엔지니어에게 귀중한 도구입니다.
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