판매용 중고 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Mark II #9119500

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MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Mark II
판매
ID: 9119500
웨이퍼 크기: 6"
Sputtering system, 6".
MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Mark II 포토 esist 장비는 사진 식도 패턴 및 에칭 기술을위한 다기능 프로세스 솔루션입니다. 반도체 소자 제작 및 산업 전사 인쇄 응용 프로그램 (industrial transfer printing application) 과 같은 다양한 전자 빔 유도 및 기존 광석기 학적 작업을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 시스템은 최적화 된 스캐닝 단계, 직접 이미징 광학, 부스트 제어 장치, 비용 효율적인 고급 전자 제품을 포함하는 E-beam 리소그래피 플랫폼에서 제작되었습니다. 고급 구조와 패턴 생산에서 높은 반복성과 정밀도를 보장하는 동봉 된 이중 자석 (dual-magnet-optics) 디자인으로 제작되었습니다. 이것은 나노 구조 제작 프로세스에 적합한 솔루션입니다. MRC Mark II는 레이저 다이오드 (laser-diode) 기반 쓰기 소스를 가지고 있으며, 광 응축기와 최적으로 결합되어 넓은 패턴 영역의 원샷 노출이 가능합니다. 이는 제어기 (Control Machine) 와 함께 해상도 요구 사항 중 고품질 포토레시스트 이미지의 최대 생산성을 제공합니다. 이 도구는 다용도 용량 제어 인터페이스 및 환경 제어 자산도 제공합니다. 이렇게 하면 용량, 속도, 포토레시스트 (photoresist) 호환성과 관련하여 프로세스의 실시간 최적화를 유연하게 수행할 수 있습니다. 또한, TEL Mark II에는 구조물에 대한 실내에서 검토 할 수있는 특수 마스크 없는 카메라 모델이 장착되어 있습니다. 이 장비는 추가 분석을 위해 구조의 레이아웃과 단면을 정확하게 기록합니다. 더욱이, 이 시스템은 지터 (jitter) 와 왜곡 (distortion) 을 제거하여 적절한 구조 정렬을 보장하는 뛰어난 이미지 정렬 장치를 가지고 있습니다. 또한 Mark II는 다양한 데이터 관리 서비스를 자랑합니다. 따라서 사용자는 프로젝트 설정 및 진행 보고서를 안전한 클라우드 플랫폼 (secure cloud platform) 에 저장할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 지리적 경계 (geographic boundary) 를 통해 데이터를 액세스하거나, 아카이빙이나 백업 용도로 데이터를 저장할 수 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Mark II 포토레지스트 머신은 생산 규모 응용을위한 강력하고 정교한 포토 리토 그래피 솔루션입니다. 고급 설계는 높은 운영 효율성과 정확성을 보장하는 한편, 손쉽게 구축하고 데이터를 안전하게 관리할 수 있습니다.
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