판매용 중고 MRC 944 #9023648

MRC 944 (MRC 944) 는 옵토일렉트로닉 및 기타 고기술 어플리케이션에 고성능 증착을 제공하도록 설계된 이중 평면 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 고출력과 고출력 증착을 모두 수용 할 수있는 4 음극, 2 챔버 시스템입니다. 이 장치에는 고급 Glid CoplanarTM 대상 연결 장치 (Target Attachment Machine) 가 장착되어 있으며, 내장형 다중 주파수 전원 공급 장치를 통해 정확한 제어 및 유연성을 제공합니다. 이 도구는 높은 순도 금속, 도체, 유전체, 모노 및 멀티 레이어 스택, 또는 그 조합을 포함한 다양한 필름을 증착 할 수 있습니다. 챔버 설계는 또한 아르곤, 산소, 질소 또는 그 조합을 포함한 다양한 공정 가스를 허용합니다. 944는 독립적 인 운영을 위해 2 개의 개별 스퍼터 소스와 2 개의 챔버를 통합합니다. 이 설계는 최대 1.1m2/hr의 생산률을 통해 높은 생산용량과 유연성을 제공합니다. 방은 쉽고 빠르게 교환되고 빠른 사이클 시간을 제공하며, 유연성을 제공합니다. 기판 적재 스테이션을 사용하면 빠르고 효율적인 샘플 배치가 가능합니다. 이 자산은 고온, 고진공 환경을 위해 설계되었으며 수냉식, 자기 방패 (magnetic shield) 가 장착되어 있어 고성능 박막 증착에 이상적입니다. 방패는 민감한 재료를 증착하는 동안 추가 보호를 제공합니다. 또한 고급 모니터링 (Advanced Monitoring) 및 제어 (Control) 기능을 통해 일련의 강력한 피드백 루프 덕분에 프로세스 정확성과 반복성이 향상됩니다. 예금 매핑 (deposit mapping) 및 요율 모니터링과 결합하면 이 장비를 통해 프로세스 제어와 최적화를 철저히 수행할 수 있습니다. MRC 944 (MRC 944) 는 또한 실행 프로세스 중에도 스퍼터 매개변수를 미세하게 조정 할 수있는 독특한 전극 위치 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 기능은 매우 정밀하고 나노 미터 규모의 박막의 증착이 가능하도록 보장합니다. 전체적으로, 944는 다양한 광전자, 광학 기계 및 기타 고성능 구성 요소를 제조하는 데 사용될 수있는 정교한 스퍼터링 장치입니다. 이 머신은 사용자에게 안정성, 신뢰성, 유연성을 제공하여, 품질과 성능 목표를 충족하는 고정밀 박막 (Thin Film) 을 만들 수 있습니다.