판매용 중고 MRC 903 WLL #9171688

MRC 903 WLL은 박막 증착 응용을위한 뛰어난 균일성과 정밀도를 제공하는 다재다능한 스퍼터링 기기입니다. 903 WLL은 금속, 산화물 및 기타 화합물을 다양한 기질로 증착 시키도록 설계되었습니다. 이 장비는 2 개의 독립적 인 마그네트론 스퍼터링 음극을 사용하여 다양한 목적으로 균일 한 박막 (thin film) 을 생산합니다. 이 시스템에는 뛰어난 균일성과 정밀도를 제공하는 2 개의 대형 Independent Coaxial Magnetron이 장착되어 있습니다. 특허를 획득한 이 설계에는 고유한 C- 소닉 (C-sonic) 기술을 사용하여 대상을 정확하게 대상으로 하고 탁월한 균일성을 보장하는 자가 정렬 기능이 포함되어 있습니다. 이 두 가지 스퍼터링 소스는 광범위한 스퍼터링 파라미터 (sputtering parameters) 로 독립적으로 제어되어 유연성을 극대화합니다. MRC 903 WLL에는 뛰어난 성능과 높은 균일성을 가진 수은 없는 6 인치 소스도 포함되어 있습니다. 수은이없는 소스는 더 높은 전력 밀도와 최신 기능을 제공합니다. 이 장치에는 스퍼터링 (sputtering) 매개변수의 프로세스 제어 및 사용자 정의가 가능한 종합적인 컴퓨터 제어 시스템 (computer control machine) 도 포함되어 있습니다. 이 제어 툴은 정교한 데이터 분석, 통계적 프로세스 제어, 정교한 오프라인 프로그래밍 기능을 제공합니다. 또한 각 고객의 요구를 충족할 수 있는 다양한 옵션을 통해, 이 자산을 사용자 정의할 수 있습니다. 고에너지 가스 전달 모듈 (옵션) 을 사용하면 낮은 압력에서 더 높은 전력으로 스퍼터링을 할 수 있습니다. 고성능 전원 공급 장치 (HP) 와 빠른 응답 시간을 통해 빠른 사이클링 시간을 보장하며 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. 903 WLL은 정밀한 박막 증착 및 다양한 사용자 정의 옵션을 제공하는 다양한 스퍼터링 모델입니다. 광범위한 공정 매개변수 (process parameters) 와 결합 된 우수한 균일성 (uniformity) 과 정밀도 (precision) 는 다양한 응용 프로그램으로 뛰어난 박막 증착을 가능하게합니다.