판매용 중고 MRC 603 #123175

MRC 603은 다양한 생산 요구 사항을 충족하도록 구성 할 수있는 최첨단 모듈식 스퍼터링 시스템입니다. 진공 챔버, 자동 컨트롤러 및 여러 스퍼터 소스로 구성됩니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 304 등급 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어진 견고한 타원형 챔버로, 기판에 스퍼터링 된 물질의 고 수율 접착을 용이하게하는 높은 진공 환경을 만들 수 있습니다. 자동 컨트롤러에 의해 활성화 된 거친 진공 펌프 (rough vacuum pump) 와 고 진공 터보 펌프 (high vacuum turbo pump) 가 장착되어 있습니다. 자동 (automated) 컨트롤러는 스퍼터링 (sputtering) 매개변수를 정확하게 제어하여 스퍼터 소스가 이동하는 속도와 마그네트론 (magnetron) 전원 공급 장치를 조정하여 스퍼터링 (sputtered) 재료의 품질을 크게 향상시키고 다운타임을 줄일 수 있습니다. 스퍼터 소스에는 교환 가능한 증착원과 스퍼터 건이 포함됩니다. 증착원은 일반적으로 구리, 크롬, 알루미늄, 티타늄으로 만들어지며, 스퍼터 된 물질을 기질로 증착 할 수 있습니다. 스퍼터 건 (Sputter gun) 은 금속과 같은 재료를 챔버에 퇴적시키는 데 사용됩니다. 또한 603은 내장 RF 플라즈마 클리닝 시스템, 안전한 챔버 차폐 (Secure Shielding) 및 비상 정지 스위치 (Emergency Stop Switch) 와 같은 여러 가지 안전 및 고급 기술을 갖추고 있습니다. MRC 603은 다재다능하고 신뢰할 수있는 스퍼터 시스템으로, 산업 및 연구 수준 프로세스에 적합합니다. 기판에 스퍼터 (sputtered) 물질의 최고 수율과 최고 품질의 증착을 제공하도록 설계되었습니다.