판매용 중고 MEIVAC / ALCATEL / COMPTECH SCM 650 #9064626

MEIVAC/ALCATEL/COMPTECH SCM 650 스퍼터 장비는 물질을 기판에 코팅하는 데 사용되는 고급 물리 증기 증착 (PVD) 도구입니다. 이 과정 은, 표적 물질 을 "진공 실 '의 기판 표면 에 증기 시키고 증착 시키는 일련 의 단계 들 로 이루어져 있다. MEIVAC SCM 650 스퍼터 시스템은 금속, 유전층 및 일부 반도체 재료를 포함한 다양한 재료를 증착 할 수 있습니다. ALCATEL SCM 650 스퍼터 유닛은 소형, 3 개의 코일 마그네트론 스퍼터링 머신으로 설치 및 작동이 쉽습니다. 최대 4 개의 독립 스퍼터링 모듈을 갖춘 유연한 작동을 위해 설계되었습니다. 각 모듈에는 마그네트론, 고 진공 펌핑 스테이션 및 챔버 장착 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 각 컨트롤러는 프로세스 요구 사항에 맞게 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. COMPTECH SCM 650 스퍼터 도구 (sputter tool) 는 고전압 발전기를 사용하여 대상 재료를 증기로 분출하는 데 사용되는 이온화 플라즈마를 만듭니다. 마그네트론 제어판 (magnetron control panel) 은 증착 전원 수준, 대상-기판 거리 및 대상 재료를 선택할 수 있습니다. 이러한 매개 변수를 조정하여 최상의 증착 결과를 얻을 수 있습니다. SCM 650 스퍼터 자산에는 통합 히터와 Vacuum Leak Detection Model도 제공됩니다. 히터는 균일 한 증착을위한 최적의 기판 온도를 유지하는 데 도움이됩니다. 진공 누출 탐지 장비 (Vacuum Leak Detection Equipment) 를 사용하면 진공 누출을 신속하게 진단하고 수정할 수 있습니다. 이것 은 "시스템 '에 들어오는 먼지 입자 를 방지 하며, 이것 은 증착 의 질 에 부정적 인 영향 을 미칠 수 있다. MEIVAC/ALCATEL/COMPTECH SCM 650 스퍼터 장치는 잘 정의 된 균일 성을 가진 등각 코팅이 필요한 응용 프로그램에 유용합니다. 또한 RTP 및 ALD와 같은 다른 기판 가열 기술과도 호환됩니다. MEIVAC SCM 650 (MEIVAC SCM 650) 은 박막 증착을위한 이상적인 도구로, 상업 및 연구 실험실에서 인기있는 선택입니다.