판매용 중고 LEYBOLD / BPS ZH 620 Corona #196509

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LEYBOLD / BPS ZH 620 Corona
판매
ID: 196509
빈티지: 1996
Sputter tool, 4" Includes: Main body: R-Metal Corona RF Generator tower 1 RF Generator tower 2 Automatic controller Chiller Compressor PC / Monitor Spare parts Manual (2) Leybold pumps Heater 1996 vintage.
LABOLDLEYBOLD/BPS ZH 620 Corona는 다양한 증착 응용 프로그램을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 직류 (direct-current) 및 무선 주파수 (radio-frequency) 전원을 사용하여 다양한 기판 및 프로세스에서 효율적인 스퍼터링을 가능하게합니다. 기판 전체에 균일성을 가진 단일 및 다중 레이어의 고속 스퍼터링 (sputtering) 을 위해 설계되었습니다. 시스템에는 이온 소스, 평면 마그네트론 및 원격 제어 가능한 다중 축 기판 스테이지가 포함됩니다. 이온 소스 (ion source) 는 코팅 전에 표면에서 고유 한 산화물 및 오염을 제거하는 데 사용되는 고도로 균일 한 사전 청소 혈장을 생성합니다. 방출 된 이온은 초점 수집기 플레이트 세트에 의해 기판 표면에 유도된다. 강도 소스는 조절 가능한 챔버 벽과 분리 가능한 가변 높이 레일 유닛 (variable height rail unit) 을 갖춘 사용자 친화적 인 모듈 식 디자인에 포함되어 있습니다. 이를 통해 다른 프로세스에 대한 시스템 액세스 및 재구성을 쉽게 수행할 수 있습니다. 평면 마그네트론 스퍼터 소스는 각각 최대 3 개의 캐리어로 최대 9 개의 마그네트론 목표를 보유 할 수 있습니다. 이를 통해 고속 스퍼터링, 스텝 코팅, 다중 레이어 증착 등 다양한 증착이 가능합니다. 공구가없는 클램핑 메커니즘으로 대상을 빠르고 쉽게 변경할 수 있습니다. 다중 모드 (Multi-Mode) 작업을 통해 배치 매개변수를 각 기판 및 증착 프로세스에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 도구에는 원격으로 제어 가능한 다중 축 기판 처리 단계도 있습니다. 이를 통해 전체 서피스 전체에서 균일 한 퇴적물을 달성 할 수 있도록 기판의 정확한 동작 및 위치 설정 (motion and positioning) 이 가능합니다. 기판 단계에는 또한 최적의 스퍼터 커버리지를 허용하는 독립적 인 바이어스 (bias) 및 기울기 제어 (tilt control) 가 포함됩니다. 이 고급 자산은 연구, 프로세스 개발 및 대량의 스퍼터링 응용 프로그램에 이상적입니다. 다양한 스퍼터링 요구 사항을 충족하고 안정적이고 일관된 성능을 제공합니다. 간편한 액세스 및 유연한 구성을 통해 다양한 프로세스에 적합합니다. LABOLDBPS ZH 620 코로나 (Corona) 는 강력하고 다목적 인 스퍼터링 모델로 우수한 결과를 얻도록 설계되었습니다.
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