판매용 중고 LEYBOLD / BALZERS ZH 620 Corona #9236460

LEYBOLD/BALZERS ZH 620 코로나 (Corona) 는 다양한 재료의 박막을 일련의 음극 호를 통해 기판에 입금하도록 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 반도체 처리 및 개발에 사용되는 다목적 도구로서, 다양한 응용 분야에 대한 나노 구조 (nanostructure) 를 준비 할 수 있습니다. LEYBOLD ZH 620 Corona는 고해상도 대상 챔버, 소형 마그네트론 배열, 회전/틸팅 덮개 및 효율적인 냉각 메커니즘으로 구성됩니다. 고해상도 목표 챔버 (high-resolution target chamber) 는 나노 구조의 정확한 머시닝을 보장하는 반면, 마그네트론 배열은 음극 호의 수와 위치를 다양하게 변경하여 증착 과정을 변경할 수 있습니다. 회전 및 기울기 뚜껑은 노출 된 각도의 범위를 넓힙니다. BALZERS ZH 620 Corona는 강력한 터보 분자 펌프를 특징으로하여 중단되지 않은 프로세스 가스의 지속적인 공급을 보장합니다. 이 "시스템 '은 또한" 스퍼터' 를 한 재료 의 질 을 제어 하는, 광범위 한 사용자 정의 모양 을 만들어 낼 수 있다. ZH 620 코로나는 수동 모드 또는 반자동 모드에서 작동 할 수 있습니다. 이렇게 하면 사용자가 제어하는 작업을 통해 배치 프로세스 (deposition process) 의 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이것은 또한 생산 된 필름 과립법의 실시간 분석을 수행 할 수있는 가능성을 제공합니다. LEYBOLD/BALZERS ZH 620 코로나 (Corona) 는 매우 효율적입니다. 캐소딕 아크에 최적화된 사건 목표 전류 덕분에 박막 스퍼터링에 이상적인 옵션입니다. 또한, 이 기계는 투명 전도 산화물 (TCO) 을 얻고 코팅 된 임플란트를 생산하는 것을 포함하여 다양한 응용 분야에 적합합니다. LEYBOLD ZH 620 Corona에는 뚜껑을 닫는 인터 록 장치 (interlock unit) 및 자동 노즐 차단 (nozzle shut-off) 과 같은 안전 조치가 완전히 장착되어 있습니다. 또한, "펌프 '실 의 공정 온도, 압력, 온도 와 같은 기계" 파라미터' 를 감시 하고 조정 할 수 있다. 결론적으로 BALZERS ZH 620 Corona는 박막 및 나노 구조를 스퍼터링하기위한 효율적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 이 기계 는 다양 한 고급 "피처 '를 갖추었기 때문 에 정밀 한 증착 과정 을 통해 생산 된" 필라멘트' 의 질 이 가장 높아 비용 을 절약 하고 생산성 을 향상 시킬 수 있다.