판매용 중고 KURT J. LESKER PVD 75 #185736

KURT J. LESKER PVD 75는 고성능 중형 단일 아크 스퍼터링 소스 장비입니다. 이 시스템에는 하중 잠금 챔버, 진공 전사 챔버 및 스퍼터링을위한 주 챔버가 있습니다. 기본 압력은 2 x 10-7 Torr이며 1 x 10-3 Tor에서 2 x 10-8 Torr까지 작동 할 수 있습니다. PVD 75 장치는 E-Gun이 장착 된 스퍼터링 챔버와 조정 가능한 목표 보유 설비로 구성됩니다. 이를 통해 여러 대상과 기질의 동시 및 독립적 인 스퍼터링이 가능합니다. E-gun은 높이와 각도가 조정되어 가공소재 전체에서 균일성을 높일 수 있습니다. 챔버에는 4 개의 기계식 회전 펌프가 장착되어 초고 진공 수준과 4 개의 터보 분자 펌프 (turbo-molecular pump) 를 달성하여 높은 펌핑 속도와 궁극적 인 압력에 도달합니다. KURT J. LESKER PVD 75는 다양한 코팅을 제공하는 다용도 기계입니다. 유전체, 금속, 산화물, 질화물, 다양한 전도성 및 반도체 재료와 같은 세라믹 및 비 세라믹 재료를 증착하는 데 사용할 수 있습니다. 이 도구는 기판 크기와 모양이 유연하며, 최대 200 x 300 mm 기판을 수용 할 수 있습니다. 또한 스퍼터 클리닝 또는 기판 퇴화를 수행 할 수 있습니다. PVD 75는 안정성이 높고 유지 보수가 쉽습니다. 증설률 (Deposition Rate) 과 유지보수 주기 (Maintenance Cycle) 의 뛰어난 반복성을 제공하여 다운타임을 줄이고 소유 비용을 최소화합니다. 또한, 자산의 독특한 endura-Pro Technology는 전극과 양극의 침식을 방지하여 E-gun 및 스퍼터 음극의 수명을 연장합니다. 전체적으로 KURT J. LESKER PVD 75는 효율적이고 신뢰할 수있는 스퍼터링 모델로, 광범위한 증착 및 스퍼터 클리닝 애플리케이션에 적합합니다. 탁월한 반복성과 긴 서비스 수명으로 TCO (소유 비용) 를 절감하고 생산성을 높입니다.