판매용 중고 INFICON XMS-3 #168883

INFICON XMS-3은 고급 스퍼터 코팅 증착 공정을 위해 설계된 산업용 스퍼터 장비입니다. 여러 응용 프로그램에 대한 여러 챔버 구성이 포함 된 진공 내 및 진공 외 코팅을 모두 제공합니다. XMS-3은베이스 챔버에 60 x 60cm (60 x 60cm) 처리 구역과 산화물 제거 및 오염 자산과 같은 사전 청소 및 사후 처리 작업을위한 별도의 챔버와 함께 제공됩니다. INFICON XMS-3의 기본 챔버는 압력 작동이며 수동 및 자동 프로세스를 모두 지원합니다. 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 동안 매우 낮은 챔버 압력을 촉진하고 온도, 압력, 가스 흐름 및 기타 프로세스 변수에 대한 실시간 모니터링 및 제어를 가능하게하는 효율적인 펌핑 시스템을 갖추고 있습니다. 특정 스퍼터링 요구 사항에 적합한 다양한 스퍼터 소스를 사용할 수 있습니다. 코팅 결과의 뛰어난 균일성, 접착 및 재현성을 제공합니다. XMS-3은 또한 기판에서 더 두껍고 밀도가 높은 코팅을 생성 할 수 있습니다. INFICON XMS-3은 사용하기 쉽고 유지 관리하기 쉬운 견고한 설계를 갖추고 있습니다. 효율적인 통신 및 작동을 위한 직관적인 13 "터치 스크린이 있습니다. 또한 자동 연동 장치 (Auto-Interlock Unit) 및 비상 정지 스위치 (Emergency Stop Switch) 와 같은 고급 안전 기능도 갖추고 있습니다. XMS-3에는 기판 로드 및 언로드를위한 자동 처리 장치 (Automatic Handling Machine) 와 쉽고 안전한 기판 처리를 위한 웨이퍼 전송 도구 (Wafer Transfer Tool) 도 포함되어 있습니다. 또한 INFICON XMS-3은 프로세스 레시피 제어, 데이터 로깅, 원격 액세스 기능과 같은 다양한 프로세스 개발 및 모니터링 옵션을 제공합니다. XMS-3 (XMS-3) 은 고급 증착 프로세스에 이상적인 스퍼터 자산으로, 실험실과 산업 환경에서 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공합니다.