판매용 중고 HITACHI IML4-1 #9128628

HITACHI IML4-1은 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 진공 코터 시스템은 외부 챔버에 통합 된 3 단계 터보-분자 펌핑 장치 (integrated 3 stage turbo-molecular pumping unit) 를 갖추고 있으며, 광범위한 작동 압력에 대한 일관된 성능을 제공합니다. 이 기계는 매우 낮은 압력과 낮은 온도에서 정확한 박막 증착을 가능하게합니다. IML4-1은 증발 기반 증착 도구를 포함합니다. 이 기술 은 강력 한 "마그네트론 '원 을 사용 하여" 샘플' 을 국소 로 가열 하여 얇은 "필름 '을 만드는 데 사용 할 수 있는 원자 를 증발 시키기 위하여" 플라즈마' 를 만든다. 이 자산은 최적화 된 필름 커버리지를 위해 회전할 수 있습니다. HITACHI IML4-1 (HITACHI IML4-1) 은 표본의 전체 표면에서 원자의 증발 속도와 증착 속도를 정확하게 제어하여 균일성을 보장하는 기능을 가지고 있습니다. 또한 IML4-1은 300mm 원형 스퍼터 대상을 사용합니다. 이 "스퍼터 '표적 은" 알루미늄', "크롬 '," 티타늄' 등 여러 가지 금속 의 박막 을 증착 시키는 데 사용 될 수 있으며, 그 외 에도 증착률 과 균일성 이 매우 높다. HITACHI IML4-1 (HITACHI IML4-1) 은 또한 고에너지 원격 플라즈마 소스를 통합하여 짧은 시간 안에 샘플의 넓은 영역을 스퍼터링하는 데 사용할 수 있습니다. 또한, 모델에는 자동 자기 소스 (auto-magnetic source) 가 장착되어 있어 증착 프로파일 및 필름 매개변수를 정확하게 제어하여 장기적인 안정성을 제공합니다. 마지막으로, IML4-1에는 간단한 샘플 로드 및 언로드를 위해 로드 잠금 장비가 장착되어 있습니다. 사용자 안전성 향상을 위해 HITACHI IML4-1 은 플라즈마 모니터 (Plasma Monitor) 와 디지털 누출 탐지기 (Digital Leak Detector) 및 온도계 (Thermocouple thermometer) 에 의해 제어 및 모니터링됩니다. 결론적으로, IML4-1은 고속, 균일성을 갖춘 정확한 박막 증착을 제공 할 수있는 초고성능 스퍼터링 시스템입니다. 이 최첨단 제품은 운영 및 유지 보수가 용이하며, 연구/개발 (Research and Development) 에서 소규모 생산 (Small Production) 에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 적합합니다.