판매용 중고 FULINTEC UBM #198709

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FULINTEC UBM
판매
ID: 198709
Sputtering system.
풀린텍 UBM (FULINTEC UBM) 은 자기적으로 강화 된 이온 빔 소스를 사용하여 얇은 필름을 기판에 입금하는 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 매우 높은 정확도와 초고속 오염을 필요로 하는 어플리케이션을 위한 비용 효율적인 솔루션입니다. 이 장치에는 사용자 정의 가능한 다중 축 (multi-axis) 로봇 암이 포함되어 있으며, 사용자의 요구에 따라 수동, 반자동 또는 자동으로 작동할 수 있습니다. 또한 UBM 기계는 증착 공정을 위해 고압, 저온 및 산소가없는 대기를 제공하는 내장 진공 챔버를 통합합니다. 이 도구 는 거의 모든 기판 (예: 유리, 실리콘, 정밀 금속) 에 증착 할 필요 가 있는 거의 모든 응용 프로그램 에 적합 하다. 강력한 FULINTEC UBM 스퍼터링 건 (Sputtering Gun) 은 자기 강화 이온 소스 (Magnetically Enhanced ion source) 배열을 통합하여 레이어 증착에서 높은 수준의 균일 성을 달성합니다. 이 자화 된 이온 빔 소스는 최대 60 도까지 도달 할 수있는 각도로 재료를 증착하도록 최적화 된 고정밀 영구 자석 (high-precision permanent magnet) 으로 구성됩니다. 이렇게 하면 배치 (deposition) 레이어의 모양과 크기를 정확하게 제어할 수 있으며, 이로 인해 분배 속도 (distribution speed) 도 달라집니다. 또한, UBM 자산은 주변 환경에 방출 된 입자를 최소화하여 오염을 최소화하도록 설계되었습니다. 또한, FULINTEC UBM은 순수한 산소 가스, 스퍼터 건 대상 재료 및 사전 코팅 된 목표와 같은 여러 피드 소스와 호환됩니다. 이로써 사용자는 피드 소스를 원하는 배치 조건 (deposition condition) 과 정확도에 맞게 변경할 수 있으므로 배치 프로세스 (deposition process) 를 해당 응용 프로그램에 맞게 조정할 수 있습니다. 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 스퍼터링 건 (Sputtering Gun) 매개변수의 빠른 설정과 다중 축 (Multi-axis) 로봇 암의 선택적 제어를 가능하게 하여 여러 격자 및 패턴을 빠르고 정확하게 증착할 수 있습니다. 결론적으로, UBM은 정확한 박막 재료 층을 생산하기에 이상적인 모델입니다. 이 스퍼터링 장비는 강력한 자기적으로 강화 된 이온 빔 소스를 통합하여 높은 증착 정확도를 보장하는 반면, 내장 로봇 암은 여러 축을 따라 정확한 움직임을 보장합니다. 또한 FULINTEC UBM 시스템 (FULINTEC UBM 시스템) 은 작동이 쉽고 오염이 적도록 설계되어 있어 많은 박막 증착 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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