판매용 중고 ENERCON LM3214-09 #182470

ENERCON LM3214-09는 마그네트론 스퍼터 증착을위한 고성능 장비입니다. 이 시스템은 고품질 박막 코팅 생산에 최적의 성능을 제공합니다. 이 장치에는 일관된 스퍼터 (Sputter) 전원을 공급할 수있는 9kW 산업용 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. LM3214-09에는 직경이 각각 165mm 및 210mm 인 2 개의 표준 크기 Magnetron도 장착되어 있습니다. 이 기계에는 2 개의 4 인치 직경 대상이 포함되어 있으며 3 개의 구성이 가능합니다. 스퍼터링 도구에는 안정적인 로터리 베인 백킹 펌프, 스테인리스 스틸 먼지 추출 필터, 강력한 극저온 펌프 (cryogenic pump) 가 있습니다. 이 자산에는 산소 및 질소 공정에 대한 3 프로세스 가스 처리 모델도 있습니다. ENERCON LM3214-09는 정밀 압력 조절 및 균일 한 공정 가스 분배를 통해 고급 박막 증착을 위해 설계되었습니다. 장비에는 내부 RF 생성기 (internal RF generator) 와 온도 컨트롤러 (temperature controller) 가 장착되어 여러 처리 시퀀스에 대해 기판의 온도를 정확하게 제어합니다. 또한 다양한 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 통해 사용자는 원하는 결과를 얻을 수 있도록 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. LM3214-09 는 프리미엄 (Premium) 산업 등급의 설계를 기반으로 하며, 최상의 스퍼터링 결과를 제공하면서 안정성과 성능을 보장하기 위해 고급 (Advanced) 기술을 통합했습니다. 이 시스템에는 과전류/과전압 보호 (over-current/over-voltage protection) 및 접지 장치 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 전반적으로, ENERCON LM3214-09는 다양한 어플리케이션에 적합하며, 우수한 성능과 뛰어난 균일성을 제공합니다. 이 기계는 정밀 압력 규제 (Pressure Regulation) 와 첨단 기술 (Advanced Technologies) 을 통해 최고의 스퍼터링 성능 표준을 충족할 수 있으며 다양한 산업에서 고품질의 박막 코팅 (Thin-Film Coating) 을 생산할 수 있습니다.