판매용 중고 DETECH DE500 #9212069

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ID: 9212069
빈티지: 2014
Magnetron sputtering system 2014 vintage.
DETECH DE500은 박막 스퍼터링을 위해 설계된 탁상 스퍼터링 장비입니다. 이 스퍼터링 시스템은 탁월한 프로세스 제어 및 신뢰성을 제공합니다. DE500은 마그네트론 스퍼터 소스 배열이있는 2 구획 챔버를 사용합니다. 이 장치는 최대 4 개의 타겟으로 1 ~ 4 개의 재료를 스퍼터링 할 수 있습니다. 또한 하나의 스퍼터링주기에서 두 기판을 스퍼터링 할 수 있습니다. DETECH DE500의 전원 공급 장치는 최고 3kW의 고급 전파 브리지 정류기입니다. 전원 공급 장치는 최대한의 균일성과 최대한의 프로세스 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 또한 조정 가능한 상자성 펄스 변조기 (adjustable paramagnetic pulse modulator) 를 특징으로하며, 이를 통해 재료가 예측 가능한 속도로 균일하게 스퍼터링됩니다. 데500 (DE500) 은 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 와 확산 펌프로 구성된 내부 펌핑 공구로 설계되어 깨끗하고 안정적인 작업 환경을 보장합니다. 터보 분자 펌프는 탁월한 펌핑 속도를 제공하고 공정 반복성을 향상시킵니다. 진공 자산에는 2 개의 펌핑 후 밸브, 고압 센서, 창 플랜지 모델 및 보기 포트가 포함됩니다. "센서 '는 정확 한 압력 결정 을 내리고" 윈도우 플랜지' 장비 는 그 과정 을 감시 할 수 있다. DETECH DE500에는 프로세스 매개 변수를 설정하고 조정하는 데 사용되는 내장 Touch-X 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 모든 프로세스 매개변수의 그래픽 어셈블리 (graphical assembly) 를 통해 시스템을 쉽게 제어할 수 있습니다. 또한 이 컨트롤러에는 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 제어하는 소프트웨어와 정확한 반복성 (repeatability) 을 위한 레시피가 내장되어 있습니다. DE500 은 애플리케이션 중심의 제품으로, 주기가 짧고 증착률이 높습니다. 고급 기능과 사용자 친화적 (user-friendly) 설계를 통해, 빠른 프로세싱과 뛰어난 품질의 결과를 필요로 하는 어플리케이션에 이상적인 장치입니다. DETECH DE500 은 의료, 항공 우주, 전자 제품 등 다양한 업종의 요구를 충족할 수 있는 맞춤형 솔루션을 제공합니다.
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