판매용 중고 DENTON VACUUM Desk V #9164799

DENTON VACUUM Desk V는 스퍼터링 장비 (Sputtering Equipment) 로, 기판에 얇은 재료 필름을 침착시키려는 의도로, 진공 챔버에 플라즈마 플럼을 생성하기 위해 아르곤 가스를 점화하도록 설계되었습니다. 작업 챔버 (Work Chamber) 는 최대 4 인치 직경의 샘플을 수용 할 수 있으며 개방형 또는 폐쇄형 챔버에서 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 고전압 DC 전원 공급 장치로 구동되는 5.75 인치 이온 소스와 진공 챔버로 구성됩니다. 적분 진공 펌프는 최대 진공 수준 2 x 10-5 Torr의 가스를 대피시키는 데 사용됩니다. DENTON VACUUM DESKV는 금속성 합금뿐만 아니라 알루미늄, 티타늄, 크롬과 같은 다양한 재료의 필름을 생성 할 수 있습니다. "이온 '전류 를 조정 할 수 있고 포함 된" 카메라' 로 광자 전류 를 모니터링 한다. 뿐 만 아니라, 이 장치 에는 "아르곤 '" 가스' 공급선 이 갖추어져 있어 증착 과정 을 정확 히 제어 할 수 있다. 수평 및 수직 기울기 모터를 사용하면 최적의 샘플 위치를 지정할 수 있습니다. 데스크 V에는 광범위한 기계 제어가 있으며, 3 개의 독립적 인 온도 설정과 50 회전 전위계를 통한 조정 가능한 DC 바이어스 제어가 있습니다. 또한 DESKV에는 기판 온도, 공정 압력, 전원 설정을 표시하기 위한 내장형 실시간 스퍼터 모니터가 포함되어 있습니다. "인터록 '" 스위치' 는 부당 한 상태 나 위험 한 상태 로부터 "툴 '을 감시 함 으로써 안전 하고 신뢰 할 만한 작동 을 보장 하는 데 사용 된다. DENTON VACUUM Desk V (DENTON VACUUM Desk V) 는 온도 설정, 기판 배치 및 기타 프로세스 컴포넌트를 제어하는 고급 자동화에 의존하여 재료를 기판 샘플에 단순하고 효율적으로 증착합니다. 사용자 친화적 인 설계를 통해 유연하고 반복 가능한 처리 제어 (Processing Control) 설정을 통해 모든 사용자가 정밀 증착을 위해 특정 프로세스 레시피를 적용할 수 있습니다. 또한, 자산에는 우발적 인 손상을 방지하기 위해 안전 기능이 장착되어 있습니다. DENTON VACUUM DESKV는 사용자에게 일관되고 반복 가능한 결과를 제공하는 직관적인 스퍼터링 모델입니다. 지능형 자동화를 통해 증착 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있으므로 데스크 V (Desk V) 는 기판 샘플에서 박막 증착을위한 안정적인 선택이되었습니다.