판매용 중고 DENTON VACUUM DESK II #9213639

DENTON VACUUM DESK II는 얇은 재료를 기판에 증착하는 데 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 진공실, 전원 공급 장치, 가스 및 펌핑 시스템, 증착원으로 구성됩니다. "스퍼터링 '과정 은" 스테인레스 스틸' 로 만들어지고 환경 상 으로 밀봉 된 진공실 내 에서 행해진다. 이 챔버 (chamber) 는 매우 낮은 압력으로 스퍼터링 된 종을 기질로 효율적으로 수송 할 수 있도록 높은 진공 환경을 만들기 위해 특별히 설계되었습니다. 이 장치의 전원 공급 장치는 표준 작동 범위가 0 ~ 1,000 와트인 DC 마그네트론 스퍼터링 소스로 구성됩니다. "마그네트론 '원 은" 스퍼터링' 과정 을 시작 하고 유지 하는 데 필요 한 "에너지 '를 공급 해 준다. 다양한 vacuum Shielded 케이블 및 기타 보호 구성 요소에 의해 보호됩니다. 또한 필름의 정확한 증착을 용이하게하기 위해 수동 및 자동 전류 제어를 모두 제공합니다. "가스 '와" 펌프' 기계 는 증착실 에서 특정 한 "가스 '성분 과 압력 을 만들고 유지 하는 데 사용 된다. 펌핑 도구는 터보 분자 펌프, 고속 회전 펌프, 흑백 이온 펌프 및 비활성 가스 자산으로 구성됩니다. 이 모델은 최소 압력 10-5 torr의 진공 환경을 제공하도록 설계되었습니다. "가스 '입구 는 다른" 가스' 조성물 로 금속 이나 합금 "필름 '을 얻을 수 있도록 조정 할 수 있다. 석영 구조 인 증착 원 (deposition source) 은 스퍼터 (sputtered) 종을 기판 표면에 효율적으로 증착시키는 데 사용됩니다. 백그라운드 대기에 최소한의 노출로 최대 6 인치 크기의 다양한 기판을 처리 할 수 있다. & # 160; & # 160; "자석 '배열 은" 스퍼터' 된 종 들 의 방향 과 강도 를 조절 하는 데 사용 되어 "필름 '을 두께 와 정밀 한 분포 로 배치 한다. 데스크 II (DESK II) 는 다양한 기판에서 금속 및 합금 필름의 정밀 증착에 이상적인 효율적인 스퍼터링 장비이다. 조정 가능한 압력 및 가스 조성을 갖춘 고진공 환경 (high-vacuum environment) 을 제공하여 정확한 요구 사항에 맞게 필름을 정확하게 증착합니다. 이 시스템은 결과 필름 (film) 의 품질과 성능을 보장하기 위해 항상 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 추적하고 제어할 수 있는 모니터링 장치 (monitoring unit) 도 갖추고 있습니다.