판매용 중고 DENTON VACUUM DESK II #9114743

DENTON VACUUM DESK II는 진공 증착 및 박막 코팅 분야의 연구 개발을 위해 설계된 차세대 스퍼터 장비입니다. 이 시스템은 정밀도 및 신뢰성을 갖춘 산화물, 질화물, 카바이드, 합금과 같은 높은 전도 및 유전체 박막을 증착시키는 데 이상적입니다. 이 장치에는 터보 분자 펌프, 1 차 진공 챔버, 공정 챔버, e-gun 챔버 및 여과 챔버를 포함하는 맞춤형 멀티 챔버 구성이 장착되어 있습니다. 이 기계는 편리한 샘플 로드 및 언로드를 위해 제작되었습니다. 또한 고급 폐쇄 루프 프로세스 컨트롤러 (closed-loop process controller) 로 구성되어 순차 필름 스퍼터링 응용 프로그램을 완전히 자동화 할 수 있습니다. 이 도구는 최대 42 인치 폭의 넓은 지역에 비해 균일성이 뛰어난 고속 스퍼터 증착이 가능합니다. 기판 장착 구성 범위가 다양한 원소 (elemental) 및 복합 (compound) 대상에서 다양한 재료를 배치하는 기능으로, 다재다능합니다. 프로세스 컨트롤러에는 50 개의 프로그래밍 가능한 레시피 메모리 (recipe memory) 가 있으며, 이는 나중에 사용할 수 있도록 최대 50 개의 미리 정해진 레시피를 저장할 수 있습니다. 프로세스 매개변수는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 편리하게 수정할 수 있습니다. 여기에는 다양한 입력/출력 옵션과 압력, 온도, 기판 바이어스, 대상 바이어스, 증착율, 필름 두께 등 최대 6 개의 프로세스 매개변수가 포함됩니다. 사용자 친화적 인 설계에는 사전 프로그래밍 및 사용자 정의 매개변수가 모두 포함됩니다. 이 자산에는 기판 및 목표 온도 균일성 및 낮은 외출 속도를위한 8 개의 직접 히터와 광범위한 프로세스 제어 최적화를 위해 2 개의 RF 기판 바이어스 소스가 있습니다. 고급 RPM (Advanced RPM) 컨트롤을 사용하면 초박형 코팅 필름 및 두꺼운 예금에 대한 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 이 모델은 광학 방출 분광법 (optical emission spectroscopy) 을 통해 고급 광학 모니터링을 제공하여, 사용자가 필름 증착율을 철저히 분석하고 그에 따라 매개변수를 조정할 수 있습니다. 또한 원격 서비스 포트는 데이터베이스 쿼리, 프로세스 진단, 튜닝을 위한 완벽한 원격 액세스를 제공합니다. 따라서 현장 서비스 콜 (service call) 과 관련된 시간과 비용을 줄여 프로세스를 지속적으로 효율화할 수 있습니다. 결론적으로, DESK II는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스와 안정적인 클로즈드 루프 (closed-loop) 프로세스 제어를 통해 뛰어난 필름 균일성과 정확성을 제공하는 고급 스퍼터링 장비입니다. 멀티 챔버 (Multichamber) 구성은 광범위한 프로세스 최적화를 가능하게 하며, 고급 광 모니터링은 효율적인 스퍼터 증착을 보장합니다. 이 시스템은 정확성, 신뢰성, 낮은 TCO (총소유비용) 를 갖춘 운영이 필요한 연구 개발에 이상적입니다.