판매용 중고 Custom Sputter coater #9058402

커스텀 스퍼터 (Custom Sputter) 코터는 특수 스퍼터링 장비로, 얇은 층의 재료를 기판에 배치하는 데 사용됩니다. 그것 은 증착 과정 으로서, 금속 표적 으로부터의 원자 혹은 물질 분자 들 이 가속 되어 표적 기판 에 "시막화 '되어" 박막' 을 형성 하는 것 이다. 스퍼터링 시스템은 일반적으로 진공실, 기판 주위에 필드를 만드는 자석 배열, 스퍼터링 소스 배열, 진공 펌프, 전원 공급 장치, 컨트롤러 등으로 구성됩니다. 스퍼터링 장치 (Sputtering Unit) 는 PVD (Physical Vapor Deposition) 기술의 한 유형으로, 비활성 가스 이온의 폭격으로 표적의 재료가 분리되어, 경계 빔에서 기질로 이동하는 중성 원자의 플럭스를 생성합니다. "아르곤 '을 포함 한" 스퍼터링' "가스 '는 높은 증착율 과 박막 의 균일 한" 코우팅' 을 만드는 데 사용 될 수 있다. 맞춤형 스퍼터링 코팅은 금, 크롬, 티타늄, 구리, 알루미늄 등과 같은 재료로 만들어지며, 각 재료는 다른 용도에 대한 고유 한 특성을 갖습니다. 스퍼터 코팅 (sputter coating) 용 진공 챔버는 일반적으로 원통형 챔버 (cylindrical chamber) 이며, 대상 기판 주위에 균일 한 자기장을 생성하도록 구성되며, 그 결과 높은 스퍼터링 속도가 생성됩니다. 기판 홀더, 기판 척, 표적 홀더를 부착하기위한 플랜지가 장착되어 있습니다. 스퍼터 코팅 과정은 재료에 따라 다를 수 있지만, 일반적인 프로세스에는 아르곤 (argon) 을 원하는 진공 수준으로 제거하고, 기판과 표적 재료를 적재하고, 기판과 표적 재료를 특정 온도로 가열하고, 기계에 전원을 공급하는 것이 포함됩니다. 스퍼터 (Sputter) 코터의 전원 공급 장치는 일반적으로 DC-DC 컨버터 (DC-DC converter) 형태로, 스퍼터 소스에 전원을 공급하기 위해 여러 출력 전압을 제공 할 수 있습니다. 대상 재료는 양극 회로 (anode circuit) 를 통해 연결되며, 여기서 전원 공급 장치는 대상에 연결되고 접지는 금속 막대를 통해 연결됩니다. 대상에 대한 전원 공급 장치의 피드 스루 플랜지 (feed-through flanges) 는 배출 챔버 상단에 있습니다. 컨트롤러는 스퍼터링 (sputtering) 도구의 다양한 구성 요소에 전원을 공급합니다. 스퍼터링 (sputtering) 도구는 원하는 매개변수에 따라 조정됩니다. 컨트롤러는 또한 스퍼터링 자산의 다양한 부분 (예: 온도, 전력, 전압 등) 에서 분석을 위해 데이터를 수집합니다. 커스텀 스퍼터 코터 (Custom Sputter coater) 는 증발과 같은 다른 박막 증착 기술보다 훨씬 얇은 재료 층을 증착 할 수 있으므로 정확한 레이어가 필요한 응용 분야에 이상적입니다. 다양한 재료와 정교한 컨트롤러의 도움으로, 이 커스텀 스퍼터 코터 (Custom sputter coater) 는 뛰어난 형태와 재생산을 갖춘 매우 균일 한 레이어를 생산합니다.