판매용 중고 CPA / KURDEX XM2000 #9148918

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CPA / KURDEX XM2000
판매
ID: 9148918
Sputtering system.
CPA/KURDEX XM2000 스퍼터링 장비 (Sputtering Equipment) 는 다양한 기판에 금속 및 반도체 재료의 얇은 필름을 입금하는 데 사용되는 산업 프로세스입니다. 이 기계의 주요 구성 요소는 높은 진공실, 진공 펌프, 스퍼터링 전원 공급 장치, 제어 전자 제품 및 증착을위한 회전 대상으로 구성됩니다. CPA XM2000은 저온 증착 율로 에너지 효율이 높은 자기 강화 스퍼터링 (magnetically enhanced sputtering) 프로세스를 사용하여 금속, 전도성 및 유전체의 증착에 이상적인 선택입니다. KURDEX XM2000은 자기 강화 스퍼터링 (magnetic-enhanced sputtering) 을 사용하며, 아르곤 가스 및 금속 이온을 함유하는 매우 강렬하고 균등하게 분포 된 '플라즈마' 를 생성하여 많은 기판에 균일 한 증착을 허용합니다. 이 과정은 기존의 스퍼터링 (sputtering) 프로세스에 비해 에너지 효율성이 매우 높아 비용 효율적이고 효율적인 운영을 가능하게 합니다. 이 "시스템 '은" 핀홀' 이나 기타 불완전성 이 없는 뛰어난 표면 덮개 로 금속 을 기판 에 스퍼터 할 수 있다. XM2000 은 신뢰성 있는 프로세스 반복성과 에미턴스 (emittance) 매개변수의 정확한 제어를 보장하는 고급 기능을 제공합니다. 이 장치에는 고진공 챔버, 고출력 진공 펌프, 개별적으로 제어 된 스퍼터링 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 스퍼터 전원 공급 장치는 DC 또는 멀티 펄스 스퍼터링 (multi-pulse sputtering) 을 모두 통해 증착 공정을 완전히 제어 할 수 있습니다. 각 전원 공급 장치는 여러 대상의 동시 증착을 위해, 또는 여러 코팅에서 반복 가능한 증착을 보장하기 위해 독립적으로 작동 할 수 있습니다. 사용자 친화적인 제어판을 통해 운영자는 각 스퍼터파워 (Sputterpower) 공급 장치에 대한 에미턴스 (Emittance) 매개변수를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 이 기계는 또한 에미턴스 매개변수의 균일 한 증착과 정확한 제어를 보장하도록 설계되었습니다. CPA/KURDEX XM2000 스퍼터링 도구는 산업 응용 분야에 사용하기위한 안정적이고 효율적인 증착 프로세스입니다. 에너지 효율이 높은 자기 강화 스퍼터링 기술, 에미턴스 매개변수 (emittance parameters) 의 정확한 제어 및 신뢰할 수있는 작동을 통해, 다양한 기판에 금속, 전도성 및 유전체 물질을 증착시키는 데 탁월한 선택입니다. CPA XM2000 은 가동 중지 시간 (downtime) 과 비용 (cost) 을 최소화하면서 반복 가능하고 정밀한 증착을 제공하는 운영자로서, 특정 배출 특성을 가진 부품 생산을 지원합니다.
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