판매용 중고 CPA / KURDEX System #182506

CPA/KURDEX 장비는 박막을 다양한 기판에 배치하도록 설계된 스퍼터링 CPA 시스템입니다. 초고 진공 챔버, 웨이퍼 홀더, 공준기, 제어 모듈 및 고 진공 펌프에 부착 된 전자 빔 건 (electron beam gun) 으로 구성됩니다. 전자 빔 건 (electron beam gun) 은 진공 챔버의 표적 물질에 초점을 맞춘 전자를 생성하는 데 사용됩니다. 전기장 의 적용 을 통하여, "전자 '는 높은 속도 로 가속화 되고, 표적 물질 을 폭격 하여, 그 물질 의 입자 를 침식 하고 분출 하게 되며, 이것 은 원하는 기판 에 증착 된" 필름' 이 된다. 공준기 (Colimator) 는 전자가 잘 정의 된 빔 크기를 갖도록 도와주며, 따라서 기판에 균일 한 커버리지를 제공합니다. "웨이퍼 '홀더 는 기질 을 정지 상태 로 유지 하는 데 중요 하며, 전자" 빔' 에 노출 될 때 정확 한 동일 한 위치 에 있다. 또한 기판 (기판) 이 대상 재료 (target material) 로부터의 적절한 정렬 및 거리를 갖도록 합니다. 제어 모듈은 KURDEX 유닛의 필수 구성 요소입니다. 전압, 전류, 펄스 지속 시간 (pulse duration) 과 같은 필요한 매개변수를 제공하여 올바른 양의 전류가 재료를 스퍼터팅하는 데 사용되는지 확인합니다. 또한 기판 온도 (기판 온도) 의 변화를 모니터링하여 재료의 스퍼터링 속도를 자동으로 조정합니다. 마지막으로, 고진공 펌프 (high-vacuum pump) 는 챔버 내부의 동문을 대피시키고 클린 (clean) 과 프리 (free) 비활성 가스의 연속 흐름을 제공함으로써 전자가 목표 물질에 접촉하기 위해 훨씬 더 먼 거리를 이동하여 더 큰 스퍼터링 효율과 더 균일 한 증착. 요약하자면, Machine은 박막을 다양한 기판에 배치하도록 설계된 고효율 스퍼터링 CPA/KURDEX Tool입니다. 전자 빔 건, 웨이퍼 홀더, 공조기, 제어 모듈 및 고 진공 펌프로 구성됩니다. CPA 에셋 (CPA Asset) 은 전기장 및 잘 정의 된 빔 크기를 사용하여 박막 (thin film) 의 균일 한 적용 범위와 증착을 보장하기 위해 사용됩니다. 또한 온도 조절 및 전류 조정과 같은 자동 기능도 제공합니다. 고진공 펌프 (high-vacuum pump) 는 오염 물질이 챔버에 들어가는 것을 방지하고 최대 스퍼터링 효율을 보장하는 데 도움이됩니다.