판매용 중고 CPA / KURDEX 9900 #9053543

CPA/KURDEX 9900은 다양한 기판에서 박막 증착을위한 정확하고 안정적인 프로세스를 제공하기 위해 설계된 고정밀, 다기능 스퍼터링 장비입니다. 음극 아크 증착 소스와 스퍼터링을위한 고급 크로스 빔 소스 (cross-beam source) 설계를 통합하여 다양한 고성능, 맞춤형 박막 증착 기능을 제공합니다. 이 시스템에는 다양한 프로세스 및 프로세스 제어 기능 (예: 프로그래밍 프로토콜 선택, 통합 제어 장치) 이 있습니다. 기계는 스퍼터링 챔버, 음극 아크 소스, 보호 엔클로저 등 3 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 가스충전에 컴퓨터로 제어되는 밸브를 사용하는 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 는 필요할 때 초저배경압을 가집니다. 또한, 반응 챔버 내에서 안정적인 진공 수준을 유지하도록 설계된 현대적인 진공 도구 (vacuum tool) 가 장착되어 있습니다. 이 챔버에는 기판 장착 용 조절 가능한 비품, 플라즈마 감금 및 균일 한 플라즈마 분포 용 공기 (shroud), 균일 한 가스 흐름 분포 및 정확하고 신뢰할 수있는 박막 증착 공정을 제공하도록 설계된 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 음극 아크 소스는 회전 양극, 회전 음극 및 밀폐된 형상으로 구성된 최첨단 이온 소스입니다. 근원 은 농축 된 고운 "이온 '광선 을 만들어" 가공소재' 로 정확 하게 인도 하여 균일 하고 일관성 있는 강착 "플럭스 '를 전달 한다. 반응 챔버와 통합 된 통합 제어 자산은 반응 온도, 공정 압력, 산소 농도, 바이어스 전압 등을 제어하기위한 다양한 파라미터 (parameters) 를 제공합니다. 이 소스에는 전원 제한 (Power Limit) 및 안전 종료 모델 (Safety Shutdown Model) 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 보호 인클로저는 절연 챔버 (insulated chamber) 로 구성되며, 전기 충격을 방지하고 소스에 의해 생성 된 방사선을 보호합니다. 운영 안전성을 보장하기 위해 쿼츠 창 (quartz window) 과 다양한 실드 (shield) 를 포함한 다양한 옵션도 제공됩니다. 전반적으로 CPA 9900은 정확하고 안정적인 박막 증착 프로세스를 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 손쉬운 운영 및 유지보수 (Maintenance) 를 위해 설계된 신뢰성 있고 안전한 시스템이며, 양질의 박막 증착 (Thin-Film Deposition) 공정이 필요한 모든 산업 응용프로그램에 적합한 제품입니다.