판매용 중고 CANON / ANELVA SPF-430 #9122965

CANON/ANELVA SPF-430은 CANON과 Toyota Central Research Lab을 공동으로 개발 한 다기능 스퍼터링 장비입니다. 초고 진공 및 대기 압력 모두에서 기판에 균질하고 방향성 코팅이 가능한 다재다능한 도구입니다. 산업. CANON SPF-430 챔버의 용량은 450 리터이며 멀티 레이어 시스템, x-ray 미러 및 센서와 같은 다양한 스퍼터링 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 챔버 자체는 하이브리드 디자인으로, 매우 높고 대기 스퍼터 기술을 제공합니다. 열 발산을 개선하기 위해 통합 cryopump 및 B-DTE 파이프로 스테인리스 스틸로 구성됩니다. 베이스 플레이트, 챔버 (chamber), 스퍼터 음극 (sputter cathode) 및 기타 구성 요소는 고진공 스퍼터 작업에서 최고의 성능을 위해 특별히 개발되고 최적화되었습니다. ANELVA SPF-430은 마그네트론 스퍼터링, SIMS 이식 및 열 증발이 가능합니다. 이 시스템은 장기간의 지속적인 작동이 가능하므로, 후면 스퍼터링 (sputtering) 이 가능합니다. 또한, 2 축 및 3 축 화학 증기 증착과 기판을 회전시키는 기능을 지원하며, 이는 특히 다중 계층 시스템 제조에 유용합니다. 이 장치 는 또한 "기판 '에 증착 된 물질 을 더 잘 접착 하기 위한 독특 한 특징 을 가지고 있다. 이것은 스퍼터링 (사전 스퍼터링 (pre-sputtering)) 전에 표적에 고전압을 적용하여 재료가 기판 표면에 더 밀접하게 붙일 수 있도록 합니다. SPF-430에는 각 스퍼터링 프로세스의 데이터를 기록하고 저장하는 컴퓨터 제어 데이터 획득 시스템 (computer-controlled data acquisition machine) 이 포함되어 있습니다. 이 데이터는 공구 (tool) 의 작동 및 전체 성능을 분석하는 데 중요합니다. 또한, 자산에는 압력, 온도 및 기타 매개변수를 모니터링하고, 불규칙성을 감지할 때 모델을 종료하는 안전 제어 회로 (Safety Control Circuit) 가 포함되어 있습니다. 전반적으로 CANON/ANELVA SPF-430은 매우 효율적이고 기능적인 다기능 스퍼터링 장비로, 많은 표면 코팅 응용 프로그램에 적합합니다. '무중단 운영 (continuous operation)' 과 '강력한 안전 (safety)' 기능을 결합한 광범위한 운영 능력을 통해 많은 산업 프로세스에 이상적인 선택이 됩니다.