판매용 중고 CANON / ANELVA NC-7900 #9197043

CANON/ANELVA NC-7900은 연구 및 산업 스퍼터 코팅 응용 모두를 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 3 소스, 평면 마그네트론 소스 구성을 통합하여 여러 스퍼터링 전극 증발 소스를 동시에 사용할 수 있습니다. 캐논 NC-7900 (CANON NC-7900) 은 각 소스에 대해 독립적으로 제어하고, 높은 진공 응용 프로그램과 낮은 진공 응용 프로그램 모두에서 작동할 수 있는, 증착 프로파일에 대한 뛰어난 제어 기능을 제공합니다. 이 장치에는 확장 가능한 액티브 가스 제어 (Active Gas Control) 옵션이 있으며, 질소, 산소, 아르곤 등 다양한 가스와 산소 및 질소와 같은 반응성 주변 물질에서 스퍼터링이 가능합니다. ANELVA NC-7900은 직경 250mm, 대형 기판을 수용하도록 설계된 양면, 평평한 모양의 챔버를 포함합니다. 내부 구조가 쉽게 유지되도록 설계되었으며, 각 소스마다 별도의 유지 관리 패널이 있습니다. 이 기계는 또한 고급 자기장 제어 도구 (magnetic field control tool) 를 자랑합니다. 이를 통해 이온 폭격 및 스퍼터 필름 프로파일에 대한 정확한 제어 및 각 소스에 대한 독립적 인 가스 흐름 제어 (gas flow control) 가 가능합니다. 이 스퍼터링 자산은 또한 최대 4 개의 개별 가스를위한 대형 가스 인 피드 포트 (in-feed port) 와 진공 압력, 온도, 가스 압력, 장비 성능 데이터와 같은 모델 정보를 제공하는 손쉬운 LCD 디스플레이를 갖추고 있습니다. 추가 기능으로, NC-7900은 LAN 연결을 통해 원격으로 작동할 수도 있습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스와 고급 기능을 갖춘 CANON/ANELVA NC-7900은 연구 및 산업 스퍼터 코팅 어플리케이션에 적합한 선택입니다.