판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1060SV #181556

CANON/ANELVA ILC 1060SV는 다양한 산업 및 연구 응용 프로그램을 위해 설계된 다기능 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터링 (Sputtering) 은 진공실 및 이온화 된 가스를 포함하는 물리적 증기 증착의 한 형태입니다. 이 스퍼터링 시스템 (sputtering system) 에서, 표적 물질의 입자는 전기 장 (electrical field) 에 의해 가속되고 기판을 폭격하여 물질 (material) 을 기판 표면에 전달한다. 캐논 ILC 1060SV (CANON ILC 1060SV) 장치에는 전기 전도 및 유전체 재료의 균일 한 필름 제작에 특히 적합한 몇 가지 기능이 있습니다. 기계는 진공 실, 2 개의 하중 잠금 장치 및 펌핑 도구로 구성됩니다. 챔버에는 10kW 전원 공급 장치, 고전력 목표 자산 및 디지털 피드백 모니터가 장착되어 있습니다. 대상 (Target) 모델은 고정된 소스 (fixed source) 와 회전 소스 (rotating source) 로 구성되어 기판의 모든 각도를 광범위하게 적용 할 수 있습니다. 고출력 (high power source) 은 일부 어플리케이션의 증착률 (deposition rate) 로 변환되는 고출력을 생산할 수 있습니다. 펌핑 장비는 한 쌍의 터보 분자 펌핑 단계 (turbomolecular pumping stage) 와 극저온 펌프를 사용하여 10-5 Torr의 진공을 달성합니다. 이것은 중합체에서 금속까지 다양한 기질을 스퍼터링 할 수있다. 이중 로드 잠금 장치 (Dual Load Lock) 는 에어록 시스템을 생성하며 기판을 빠르게 로드 및 변경할 수 있습니다. ANELVA ILC 1060 SV 장치는 정밀한 레이어 형성을 위해 설계되었으며, 반복 가능한 레이어 (10 nm) 를 달성 할 수있는 고급 제어 매개변수가 장착되어 있습니다. 이것은 기판-표적 거리, 소스 및 표적 전력, 공정 가스 압력, 바이어스 전압 및 전류의 제어를 허용함으로써 수행됩니다. 이 기계의 특수한 특징은 빠른 프로세스 인터페이스 (fast process interface) 를 가지고 있어 프로세스 간에 매개변수를 쉽게 변환할 수 있다는 것입니다. 빠른 공정 인터페이스 (fast process interface) 와 정확한 레이어 형성은 공구가 균일 한 필름과 복합 레이어를 생성하는 데 이상적입니다. ILC 1060 SV 는 다양한 애플리케이션에 적합한 다양한 스퍼터링 자산입니다. 고급 제어 매개변수 (advanced control parameters), 정밀 레이어 형성 (precise layer formation) 및 고급 피쳐 (advanced featuring) 를 사용하면 균일 한 필름과 복잡한 레이어가 필요한 응용 프로그램에 적합합니다. 이 모델은 전기 전도성 (electrically conductive) 및 비 전도성 (non-conductive) 재료의 필름을 생산하는 데 사용될 수 있으며, 높은 전력 능력으로 인해 높은 증착률을 달성하도록 설계되었습니다. 에어록 (Airlock) 장비와 빠른 프로세스 인터페이스 (Fast Process Interface) 를 통해 기판과 프로세스를 신속하게 변경하여 처리량이 많은 애플리케이션에 적합합니다. 전반적으로, 이 시스템은 다양한 연구 및 산업 응용을위한 훌륭한 도구입니다.