판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1051 #9220143

CANON/ANELVA ILC 1051은 다양한 애플리케이션에 우수한 스퍼터링 결과를 제공하기 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 메인 챔버, 로터리 형 플라즈마 소스, 메인 플라즈마 소스, 고주파 RF 플라즈마 연결 및 일련의 자석으로 구성됩니다. CANON ILC 1051의 주요 챔버는 스테인레스 스틸을 사용하여 건설되어 부식에 강하고 유지 보수가 적습니다. 챔버 내부에는 아르곤 (argon), 산소 (oxygen), 질소 (nitrogen) 를 포함한 다양한 공정 가스가 사용될 수 있습니다. 이 장치는 또한 고주파 RF 플라즈마와 결합 된 독특한 로터리 형 플라즈마 소스를 사용합니다. 이 새로운 플라즈마 소스는 고에너지 입자를 생성하며, 이는 기존의 DC 구동 플라즈마 소스와 비교할 때 더 효과적인 스퍼터링을 가능하게합니다. 또한, 기계 에는 "플라즈마 '의 확산 을 제한 하고 제어 할 수 있는" 스퍼터링' 속도 를 제공 하는 데 도움 이 되는 자석 이 있다. ANELVA ILC-1051은 스퍼터링 응용 프로그램에 많은 이점을 제공합니다. 스테인리스 스틸 (stainless steel) 을 사용한 구조는 빈번한 유지 보수가 필요하지 않으며, 고유 한 고주파 RF 플라즈마 소스는 우수한 공정을 위해 고에너지 입자를 생성합니다. "자석 '은 또한" 스퍼터' 표적 기여 의 크기 를 제어 하기 쉬운 방법 을 제공 하여 "스퍼터링 '과정 을 개선 시킨다. 또한, 이 툴은 광범위한 작업 (operation) 을 처리하여 사용자가 모든 스퍼터링 (sputtering) 작업에 쉽게 적응할 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로 CANON ILC-1051은 스퍼터링 응용 프로그램을위한 고급 자산입니다. 고주파 RF 플라즈마 소스와 자석은 뛰어난 스퍼터링 성능을 제공하는 반면, 스테인리스 스틸 건설 (stainless steel construction) 은 낮은 유지 보수 요구 사항을 제공합니다. 이 모델로, 사용자는 품질 향상, 전구체 형성, 장비 수명 증가를 즐길 수 있습니다.