판매용 중고 CANON / ANELVA ILC 1051 #9043718

CANON/ANELVA ILC 1051 (CANON/ANELVA ILC 1051) 은 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있도록 설계된 고성능 스퍼터링 장비로, 사용자가 증착율을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 스퍼터링 (Sputtering) 은 플라즈마 소스 (plasma source) 를 사용하여 원자를 기판으로 전달하여 기판 표면에 박막 레이어를 증착시키는 과정이다. CANON ILC 1051 시스템에는 쉬운 설정 및 유지 보수, 고전압 제어 가능 DC 전원 및 주파수 제어 터보 분자 펌프를위한 메인 보드 컴퓨터가 있습니다. 또한이 장치에는 독립적 인 가스 흐름 컨트롤러, 진공 게이지, 회전 가능한 스테이지, 밀봉 가능한 진공 챔버 및 원격 제어 샘플 홀더가 포함됩니다. 회전 가능한 스테이지로, 연산자는 최대 4 개의 기판에 1 개의 스퍼터링 프로세스를 사용할 수 있으며, 각 프로세스의 각도를 독립적으로 조정할 수 있습니다. 이 기계는 최대 64 개의 프로그래밍 가능한 단계로 스퍼터링 증착의 매개변수를 제어하는 강력한 RF 전원 공급 장치 (Powerful RF Power Supply) 를 갖추고 있으며, 사용자는 스퍼터링 전 프로세스, 증착 시간 및 스퍼터링 후 시간을 지정할 수 있습니다. 또한 DC 전원 공급 장치 (DC Power Supply) 를 사용하면 정확하고 재현 가능한 스퍼터링 속도를 통해 사용자가 증착 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 아넬바 ILC-1051 (ANELVA ILC-1051) 은 스퍼터링 프로세스를 모니터링하기 위한 자체 소프트웨어와 통합된 회사 모니터링 툴을 갖추고 있으며, 스퍼터 에셋 (sputter asset) 의 효율적인 작동을 보장하고, 증착 레시피를 추적 및 보관합니다. ILC 1051은 사용자에게 상당한 처리량을 제공하여 i) 배치 된 필름의 균일 한 분포 (ii) 를 유지하여 프로세스 사이클의 반동 시간 (iii) 을 개선함으로써 더 빠른 프로세스를 보장합니다. 또한, ANELVA ILC 1051에는 자동 웨이퍼 정렬 모델이 장착되어 있으며, 정확성과 정확성을 높이고, 운영자의 워크로드를 줄였습니다. 전체적으로, CANON ILC-1051 스퍼터링 장비는 정확하고, 제어되고, 재현 가능한 스퍼터링을 보장하며, 운영자는 금속, 유전체 및 기타 재료의 얇은 필름으로 샘플을 정확하게 제작 할 수 있습니다.