판매용 중고 CANON / ANELVA I-1060SV2+1 #9197712

CANON I-1060SV2 + 1은 다양한 연구 및 산업 응용을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 고급 DC 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 을 사용하여 균일성이 높은 고율 필름 증착을 위해 설계되었습니다. 여러 표적에서 고속으로 기판으로 재료를 증발, 증착 할 수 있습니다. 이 장치는 플랫 (flat) 기판에서 외부 원통형 (external cylindrical) 대상에 이르는 다양한 기판 크기와 모양을 제공하며, 동시에 최대 2 개의 다른 대상을 처리 할 수 있습니다. I-1060SV2 + 1 머신은 고도의 정확성과 균일성을 제공하는 품질 필름 (quality film) 구조로 설계되었습니다. 멀티 마그네트론 DC 스퍼터링 소스를 갖춘 4 축 자동 취급 로봇 공구로 구성되어 있습니다. 최적의 균일성은 가변 필드 회전 마그네트론 스퍼터링 에셋을 사용하여 달성됩니다. 이것은 선택적인 경사 그림자 유형 다중 표적 평면 마그네트론 스퍼터링 소스로 보완됩니다. 이 모델에는 사용자에게 친숙한 TAC (Touch Action Control) 장치가 있습니다. 이렇게 하면 작업을 쉽게 수행할 수 있으며, 코팅 사양을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 데이터 모니터링 및 데이터 분석을 위해 2 개의 모니터 디스플레이를 제공합니다. 또한 I-1060SV2 + 1 장비는 반응성 스퍼터링, HiPIMS 및 다중 구성 요소 프로세스와 같은 더 복잡한 벌크 프로세스를 실행할 수 있습니다. 안전성 측면에서, 시스템은 비활성 대기 챔버 (inert atmosphere chamber) 와 고 진공 컨테이너 실드 (high-vacuum container shield) 를 장착하여 스퍼터링 가스에 대한 운영자 및 환경 노출을 줄입니다. 또한 범위를 벗어난 경우에 작동을 중단하기 위해 연동이 있습니다. 결론적으로, ANELVA I-1060SV2 + 1은 고도의 균일성을 갖춘 고율 필름 증착을 제공하도록 설계된 고급 DC 마그네트론 스퍼터링 장치입니다. 자동화된 로봇 취급 기계와 사용자 친화적 인 TAC 장치를 통해 쉽게 작동할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 스퍼터링 가스 (sputtering gas) 에 대한 운영자 및 환경 노출을 줄이기 위해 다양한 안전 기능이 있습니다.