판매용 중고 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9018208

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1은 고성능 표면 및 박막 생산을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 그것은 아르곤 또는 제논 이온의 최대 10kV, 매우 정밀한 회전 생산 목표, 생산 대상의 회전 마운트, 가스 분배 모듈, 음극, 양극, 현대 컨트롤러 시스템. 장치의 이온 소스는 이온-원자 방출을 최대화하도록 최적화되었습니다. 10 ^ 14 cm-2s-1의 매우 최적의 밀도와 최대 10kV의 빔 에너지를 가진 이온 빔을 생성 할 수 있습니다. 매우 정밀한 회전 생산 목표 (rotating production target) 는베이스 재료에 증착되는 재료의 균일 한 증착을 보장한다. 약실 내부의 온도와 대기는 에칭 (etching), 증착 (deposition), 청소 (cleaning) 및 기질 사전 처리와 같은 다양한 표면 처리에 대해 정확하게 설정 및 제어 할 수 있습니다. 이 기계 에는 또한 "가스 '분배" 모듈' 이 장착 되어 있는데, 이것 은 공정 "가스 '의 궁극적 인 균일성 을 담당 한다. 용도 및 염기 물질에 따라 수소, 질소, 산소, 아르곤, 염소 및 제논과 같은 다양한 기체를 다른 공정에 사용할 수 있습니다. 가스선 분포는 전자적으로 제어되며, 전체 제품에 대한 균일 한 가스 분포를 가능하게합니다. 이 도구에는 다양한 외부 장치에 연결된 최신 컨트롤러 (Modern Controller) 자산도 포함되어 있습니다. 사용자에게 친숙한 인터페이스는 다양한 툴과 함께 실시간 데이터 모니터링 (real-time data monitoring) 기능을 통해 원하는 매개변수를 빠르고 쉽게 수행할 수 있습니다. 컨트롤러 모델은 또한 사용자에게 다른 프로세스에 대해 다른 레시피를 프로그래밍 할 수있는 기능을 제공합니다. CANON I-1060SVII PLUS-1은 고정밀 증착, 하드 코트, 스퍼터링, 화학 증발 (CVD) 및 물리적 증기 증착 (PVD) 과 같은 다양한 프로세스를 통해 기판의 박막 층을 스퍼터링하는 데 이상적입니다. 잔류를 최소화하고 코팅 프로세스를 최적화하도록 설계되었습니다. 정밀도 (precision), 제어 (control), 균일성 (uniformity), 정확도 (accurity) 의 이상적인 조합을 제공하여 다양한 분야에서 고품질 제품을 생산할 수 있습니다.