판매용 중고 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #181196

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ID: 181196
Systems, 1999 and 2000 vintage
CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1은 기판의 재료 증착을위한 컴팩트하고 안정적인 고성능 스퍼터링 장비입니다. 반도체 소자 제작에 주로 사용되도록 설계 된이 시스템은 금속 (metal) 과 금속 간 (intermetallic) 물질을 기판에 고도로 정밀 스퍼터링 할 수 있습니다. 이 장치는 FEI-2060 PLUS 1 Generator 및 30KW 전원 공급 장치로 구동되며, 스퍼터링 공정에 대한 높은 증착률 및 정밀 제어가 가능합니다. 이 기계는 DC, RF 또는 이중 RF/DC 전원을 사용하여 표준 및 반응성 스퍼터링을 모두 허용합니다. 멀티 타겟 (multi-target) 설계를 통해 공구를 사용하여 한 번에 두 개 이상의 재료를 스퍼팅 (sputter) 할 수 있으며, 오늘날의 생산 프로세스에 필요한 유연성과 효율성을 제공합니다. 또한, 자산에는 고급 컴퓨터 제어 모델이 있으며, 이를 통해 쉽게 프로그래밍 및 작업을 수행할 수 있습니다. 이 장비는 통합된 자동 조정 (Auto-Tune) 메커니즘으로, 각 특정 응용 프로그램에서 최적의 스퍼터링 성능을 위해 시스템을 자동으로 조정합니다. 또한 자동 직불 장치 (Auto-Debit unit) 가 제공되어 기판에서 스퍼터링된 재료를 자동으로 제거합니다. CANON I-1060SVII PLUS-1은 반도체 장치 생산에 사용될 때 가장 높은 성능을 발휘하도록 설계되었습니다. 이 기계의 첨단 기술 (Advanced Technology) 은 유연하고 효율적이며, 어플리케이션의 최고 수준의 성능을 보장합니다. 컴팩트한 크기와 사용자 친화적인 작업을 통해, 이 툴은 매우 안정적이고 사용이 간편합니다. 자산의 첨단 설계와 기술 (Advanced Design and Technology) 은 반도체 장치 생산에 이상적인 솔루션입니다.
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