판매용 중고 CANON / ANELVA E-730S-FH #9167771

CANON/ANELVA E-730S-FH는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 유전체 및 금속 층을 웨이퍼로 스퍼터링 할 수 있습니다. 세라믹 및 합금 층을 스퍼터팅 할 수도 있습니다. CANON E-730S-FH를 사용하면 가스 압력, Argon (Ar) 압력, 온도 및 증착 가스의 압력과 같은 프로세스 매개 변수를 쉽게 제어 할 수 있습니다. 이러한 매개변수는 사용자의 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 이 장치에는 또한 펄스 에칭 (pulse etching) 기능이 있으며, 이를 통해 사용자는 펄스 에칭을 조정하여 증착 속도를 최적화 할 수 있습니다. ANELVA E-730S-FH는 직경이 960mm 인 스퍼터링 챔버를 특징으로합니다. 이를 통해 최대 13인치 (312.85mm) 크기의 대형 웨이퍼를 스퍼터링할 수 있습니다. 이 시스템에는 최대 4.2kW를 공급할 수있는 이중 주파수 전원 공급 장치도 있습니다. 이 전원 공급 장치는 DC 및 고주파 RF 스퍼터 증착을 생성하는 데 사용할 수 있습니다. E-730S-FH 는 고품질, 안정성 및 효율적인 스퍼터링을 제공하도록 설계되었습니다. 밀폐형 루프 가스 제어 도구 (closed loop gas control tool) 가 장착되어 있어 스퍼터링 프로세스 전반에 걸쳐 원하는 프로세스 매개변수가 유지됩니다. 이 자산은 알루미늄, 구리, 크롬, 탄탈륨, 박막 등 다양한 재료를 스퍼터팅 할 때 사용할 수 있습니다. 이 모델은 또한 진공 제어 장비 (vacuum control equipment) 를 갖추고 있어 증착 물질의 높은 순도를 보장합니다. 이 "시스템 '은 공기" 펌프' 가 증착율 을 떨어뜨리지 않도록 설계 되었으며, 진공실 에서의 먼지 축적 을 제한 하도록 설계 되었다. CANON/ANELVA E-730S-FH에는 시각 및 가청 경보가 모두 장착되어 있습니다. 공정 중에 뭔가 문제가 생기면 '경보 표시기 (alarm indicator)' 로 장치의 상태를 쉽게 모니터링할 수 있다. 또한 사용자는 여러 시스템을 하나로 묶어 자동 (automated) 방식으로 안전하게 실행할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 여러 개의 스퍼터링 시스템을 동시에 실행할 수 있으며, 모든 부품이 제대로 실행되는지 확인합니다. 이 기능을 사용하면 효율성을 높이고 스퍼터링 비용을 줄일 수 있습니다. 전반적으로 CANON E-730S-FH 는 고품질 증착 계층을 생산할 수 있는 안정적이고 효율적인 스퍼터링 툴입니다. 이 자산은 연구 및 제조 응용 프로그램 모두에 사용할 수 있습니다.