판매용 중고 CANON / ANELVA APT 5800 #9158872

CANON/ANELVA APT 5800은 CANON Corporation이 다양한 재료를위한 고급 처리 도구로 개발 한 원자로입니다. 이 산업 등급 도구는 마이크로 일렉트로닉스, 광전자, 의료 전자 공학과 같은 고압, 고온 처리 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. 또한 플라즈마 증착, 스퍼터 증착, 탄소 나노 튜브 증착 (carbon nanotube deposition) 과 같은 다양한 산업 및 연구 응용 분야에도 사용됩니다. CANON APT 5800은 특허를받은 3D (3D) 열 확산 장비를 사용하며, 높은 정확도로 정밀한 온도 조절이 가능합니다. 이 시스템은 ANELVA APT 5800을 다양한 응용 프로그램에 적합한 강력한 도구로 렌더링합니다. 또한, 이 원자로는 또한 최대 11,600 ° C의 온도를 정확하게 제어 할 수있는 5 구역 온도 조절 기계와 함께 고출력 가스 분배 장치를 특징으로합니다. 3 차원 열 확산 도구는 재료에 열을 가할 때 일관된 결과를 보장합니다. 이 자산의 경우, 온도는 웨이퍼 (wafer) 의 고도로 특정한 영역에 계속 집중되어 있으면보다 정확하고 균일 한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, APT 5800 은 공정 온도 (process tempering) 를 정확하게 제어하면서, 인접 부품 및 장치에 미치는 심각한 가열 영향을 최소화하기 위해 첨단 기술로 설계되었습니다. 이를 통해 다양한 애플리케이션에서 고품질 제품을 얻을 수 있습니다. 또한, 원자로는 정밀하고 균일 한 가스 분포를 가능하게하는 showerhead 형 가스 디퓨저를 사용합니다. 이 기능은 개선 된 재료 접착 및 제어 (adhesion and control) 와 함께 프로세스 안정성 향상과 같은 개선 된 결과를 제공합니다. CANON/ANELVA APT 5800은 또한 가스 확산 판에 설치 플러시를 위해 설계된 일체형 사다리 버퍼를 특징으로합니다. 이 설계는 더 큰 반응 챔버 (reaction chamber) 를 가능하게하여 더 큰 응용 프로그램에 더 큰 용량을 제공합니다. 결론적으로, CANON APT 5800은 다양한 고온 처리 응용 분야에 사용될 수있는 강력한 원자로입니다. 이 제품은 정확도가 높은 정밀 제어를 위해 설계되었으며, 고품질 (High-Quality) 결과를 보장하기 위해 고급 기술 구성 요소를 갖추고 있습니다. 원자로 (reactor) 는 고압 고온 환경에서 정확한 온도 조절이 필요한 모든 응용프로그램에 적합한 도구입니다.