판매용 중고 CANON / ANELVA APT 5800 #9158870

CANON/ANELVA APT 5800은 증착, 에칭 및 코팅과 같은 광범위한 응용을 위해 설계된 고정밀, 다기능 전자 빔 처리 원자로입니다. 이 고성능 장비는 정밀한 처리가 필요한 전자, 광학, 반도체, 의료 등 다양한 업종에 적합한 완벽한 솔루션입니다. CANON APT 5800은 6 축 제어 시스템을 갖춘 최첨단 전자 빔 건으로, 높은 빔 균일성, 낮은 빔 발산 및 뛰어난 빔 제어를 생성합니다. 이 놀라운 단위 는 또한 환기 된 가열 된 "벨로우 '를 포함 하고 있는데, 이것 은 뛰어난 빔 균일성 을 유지 하면서 입자 오염 을 제거 한다. 고해상도 Quick Change Beam Square Machine은 빠르고 정확한 빔 정렬 및 균일성을 위한 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공합니다. ANELVA APT 5800 은 동시에 최대 4 개의 다른 타겟을 처리하여 매우 효율적입니다. 또한 모든 목표 위치에 균일성을 보장하기 위해 고급 자동 전류 보상 (Automatic Current Compensation) 기능이 장착되어 있습니다. APT 5800에는 ESP (Electro-Static Precise Slide Tool) 가 장착되어 있으며, 뛰어난 처리 능력을 제공하기 위해 전자 빔 건 및 대상을 정확하게 기울이고 회전시킬 수 있습니다. 따라서, 다중 방향 처리를 최소한의 전환 시간으로 단일 실행으로 완료할 수 있습니다. CANON/ANELVA APT 5800은 온도 제어 (Temperature Control), 패러데이 컵 모니터 (Faraday Cup Monitor) 및 프로세스 타이밍 제어 (Process Timing Control) 와 같은 다양한 프로세스 제어 기능을 제공하여 프로세스의 모든 단계를 정확하게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 원자로는 일관되고 예측 가능한 프로세스를 보장하도록 설계된 TPU (Target Positioning Unit), VLD (Vacuum Leak Detector) 및 LLS (Load Lock Asset) 와 같은 다양한 보조 구성 요소로 보완됩니다. 캐논 APT 5800 (CANON APT 5800) 은 신뢰성 있고 견고한 원자로로 우수한 결과를 만들어내며 다양한 산업 환경에서 사용할 수 있습니다. 이 모델은 놀라운 정확도, 정밀도, 처리량을 제공하여 처리 요구에 맞는 '일체형 (All-In-One)' 솔루션을 원하는 사람에게 적합한 솔루션입니다.