판매용 중고 BALZERS Sprinter #96468

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BALZERS Sprinter
판매
ID: 96468
8-chamber sputtering system.
BALZERS Sprinter는 증착 및 에칭 응용 프로그램 모두에 최첨단 스퍼터링 기술을 제공하는 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 고성능 스퍼터링 소스 (sputtering source) 와 정밀한 프로세스 튜닝을 지원하는 고급 자동화 패키지 (automation package) 가 포함되어 있습니다. 이 장치는 최대 4 개의 대상을 동시에 처리 할 수 있으며, 단일 실행으로 여러 재료를 스퍼터팅 할 수 있습니다. 고정밀 목표 보유자 (high-precision target holders) 와 단주기 셔터 메커니즘은 증착 프로세스가 매우 반복 가능하고 매우 빠릅니다. 스프린터 (Sprinter) 에는 자체 스퍼터링 프로세스 매개변수를 설정할 수 있는 통합 스퍼터링 제어 모듈이 장착되어 있습니다. 이 기계는 대상 전 난방 방식, 스퍼터링 속도, 전력, 압력 및 진공 수준, 각 대상의 상대 위치, 프로세스 모니터링 매개변수 등 다양한 프로그래밍 가능한 변수를 제공합니다. BALZERS Sprinter는 고급 운영 기능 외에도 다양한 안전 기능을 제공합니다. 과도한 압력, 온도, 방사선 조건에서 작동을 방지하는 내장 안전 연동 (Safety Interlock) 으로 설계되었습니다. 게다가, 공구에는 스퍼터링 대상 표면 (sputtering target surface) 과 가열 에셋 (heating asset) 사이에 마모제 (wear-resistance material) 가 장착되어 있어 과열과 스퍼터링 소스의 손상을 방지합니다. 스프린터 (Sprinter) 는 다양한 애플리케이션에 필요한 정확한 스퍼터링 프로세스를 수행하는 데 이상적인 선택입니다. 이를 통해 사용자는 정확한 증착 프로세스에 대한 프로세스 매개 변수를 최적화하여 보다 일관성 있고, 정확하며, 재현 가능한 코팅을 만들 수 있습니다. 이 모델은 텅스텐 (Tungsten), 알루미늄 (Aluminum), 구리 (Copper) 및 스테인리스 (Stainless) 스틸뿐만 아니라 표준 유전체를 에칭하여 스퍼터링 프로세스에서 더 큰 유연성과 다재다능성을 제공합니다. 또한 BALZERS Sprinter (BALZERS Sprinter) 는 탁월한 프로세스 모니터링을 지원하므로 퇴치 및 에칭 프로세스를 자세히 모니터링할 수 있습니다. 이러한 모든 기능은 장비의 안전 기능과 결합하여 스프린터 (Sprinter) 를 스퍼터링 (sputtering) 및 에칭 (etching) 어플리케이션에 적합한 선택 항목으로 만듭니다.
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