판매용 중고 BALZERS LSS 310 #9040205

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BALZERS LSS 310
판매
ID: 9040205
Sputtering systems.
BALZERS LSS 310은 웨이퍼 (wafer) 와 금속 (metal) 을 포함한 다양한 기판에서 고정밀 금속화를 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 빠른 펌핑을 갖춘 초고 진공 베이스와 고품질의 반복 가능한 증착을위한 저전류 밀도 플라즈마 소스 (Plasma Source) 가 특징입니다. 이 시스템에는 각 챔버에서 3 개의 마그네트론 스퍼터 6 개가 장착되어 있습니다. 각 챔버에는 3 개의 전용 목표물과 높은 일면 커버리지 스퍼터 코팅이있는 PVD 소스가 포함되어 있습니다. BALZERS는 정확한 증착을 위해 자동 튜닝 기능이 포함 된 SPS (Substrate Positioning Unit) 를 갖추고 있습니다. 또한 폐쇄 루프 액티브 가스 전달 머신 (closed-loop active gas delivery machine) 으로 설계되어 증착 과정을 보다 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 활성 열 관리 (active heat management) 및 활성 온도 재배포 시스템은 넓은 온도 범위에서 효율적이고 일관된 증착을 가능하게합니다. BALZERS 도구는 또한 장기 안정적인 작동을 위해 희토류 자석이있는 매우 신뢰할 수있는 기계 설계를 포함합니다. LSS 310 은 다양한 기판 모양 및 처리 요구 사항 (예: 청소 및 에칭) 과 호환됩니다. 경질, 얇은 필름, 유전층 등 다양한 코팅에 이상적입니다. 고급 스퍼터링 에셋 (Sputtering Asset) 으로서, 모든 스퍼터 증착 매개변수에 대한 동적 제어 (Dynamic control) 를 제공하며, 제어 및 대상 두께 수준의 일관되고 안정적인 증착을 제공합니다. 이 모델은 인체 공학적이고 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. 이 제품은 공정 제어를 효율적으로 수행할 수 있는 완전 자동화 레시피 기반 증착 (deposition) 관리 장비를 갖추고 있습니다. 모든 시스템이 단일 다기능 디스플레이 (Multifunctional Display) 를 통해 상호 연결되므로 장애 및 오류를 쉽게 파악하고 수정할 수 있습니다. 또한, BALZERS 시스템은 추가 분석 및 연구를 위해 사용자 컴퓨터로 직접 데이터를 전송하기위한 여러 디지털 고급 통신 포트 (digital advanced communication port) 를 갖추고 있습니다. 전반적으로, BALZERS LSS 310은 다양한 금속 및 합금의 정확하고, 반복 가능하고 균일 한 증착을 사용자에게 제공하는, 고급적이고 신뢰할 수있는 스퍼터링 장치입니다. 이 기계의 자동 증착 관리 도구 (automated deposition management tool) 는 사용자 경험을 단순화하며, 고급 프로세스 제어 (process control) 및 활성 온도 재배포 시스템 (active temperature redribution systems) 은 넓은 온도 범위에서 신뢰할 수 있고 반복 가능한 증착을 생성합니다. 이 자산은 다양한 연구 요건, 생산, 상업적 응용에 적합합니다.
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