판매용 중고 ANATECH / TECHNICS Hummer #9004968

ANATECH/TECHNICS HUMMER는 가장 까다로운 박막 연구 및 증착 응용 프로그램을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 특정 프로세스 요구에 맞게 조정할 수 있는 모듈식 (modular) 구성의 맞춤형 플랫폼을 제공합니다. 이 장치에는 통합 스퍼터링 소스, 단일 소스 홀더, 조절 가능한 기판 홀더, 폐쇄 루프 챔버/프로세스 제어 모니터 및 가스 입구 기계가 포함됩니다. 통합 스퍼터링 소스는 펄스 DC 소스에 0 ~ 300v DC에서 조정 가능한 연속 전력 공급원 (source of power) 을 제공하도록 설계되었으며, 조절 가능한 기판 홀더는 각도 웨이퍼 및 기판을위한 특수 기능으로 직경 150mm (Flature) 까지 기판을 이동할 수있는 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 닫힌 루프 챔버 (closed-loop chamber) 제어 모니터를 사용하면 밀폐된 루프 실시간 프로세스 제어 및 압력, 온도, 스퍼터링 매개변수 등의 다양한 조건에서 모니터링할 수 있습니다. 강력한 스퍼터링 소스는 에너지가 높은 광선 방전 플라즈마 (glow discharge plasma) 와 최적의 스퍼터 수율 (sputter yield) 을 제공하도록 설계되었습니다. 스퍼터링 소스는 향상된 필름 균일성 (Improved film unifority) 및 높은 처리량 (high throughput) 과 같은 특정 프로세스 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 내장형 가스 입력 (gas inlet) 도구는 추가 부품이 필요 없이 가스를 쉽게 도입 할 수 있도록 설계되었습니다. 아나텍 허머 (ANATECH HUMMER) 자산은 오염을 일으킬 수있는 내부 구성 요소의 수를 최소화하고 견고하고 신뢰할 수있는 프로세스를 보장하도록 설계되었습니다. 이 모델은 또한 입자 형성을 줄이고, 스퍼터는 비 균일 성을 얻도록 설계되었습니다. 장비에는 조절 가능한 안전 매개변수 (Safety Parameter) 와 진단 경고 시스템 (Diagnostic Warning System) 이 있어 스프레이 지연제 또는 기타 안전 중요 시스템이 항상 작동 중인지 확인합니다. 테크닉스 허머 (TECHNICS HUMMER) 장치는 강력하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 머신으로, 사용자에게 원하는 증착 결과를 달성하기 위해 프로세스 및 스퍼터 매개 변수를 유연하고 제어할 수 있습니다. 이 도구에는 통합 스퍼터링 소스, 단일 소스 홀더, 조정 가능한 기판 홀더, 폐쇄 루프 챔버/프로세스 제어 모니터, 가스 입력 자산 (gas inlet asset) 이 포함되어 있으므로 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 통합 안전 매개변수 (Integrated Safety Parameters), 진단 경고 모델 (Diagnostic Warning Model) 및 조정 가능한 스퍼터 소스 (Sputter Source) 는 최대의 신뢰성과 사용자 만족도를 보장합니다.