판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP #9017722

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ID: 9017722
웨이퍼 크기: 8"
Sputtering system, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP는 반도체 웨이퍼 및 기타 기판의 고급, 고성능 임플란테이션 및 도핑에 사용되는 이온 임플란테이션 원자로입니다. 이 원자로는 까다로운 생산 요구 사항에 가장 높은 용량, 처리량, 정확도를 제공하도록 설계되었습니다. AMAT Endura 5500 HP는 다양한 기판을위한 광범위한 동적 범위 (dynamic range) 를 갖춘 다양한 이온 이식 (ion implantation) 옵션을 제공하여 매번 가장 효율적이고 안정적인 임플란테이션을 제공합니다. 이 장비에는 5 개의 독립적 인 임플란트 채널이 포함되어 있으며, 최대 5 개의 동시 임플란트와 특정 임플란트에 대한 최대 7 개의 특수 채널이 가능합니다. 따라서 전체 Implant 프로세스를 최적화하여 성능 수준을 극대화할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP의 고출력 (high-power) 을 통해 원자로는 처리량 및 정밀 조절 용량 비율이 빠른 모든 크기와 두께의 기판을 수용 할 수 있습니다. 또한, 낮은 파장 채널은 원치 않는 불순물이 임플란트 프로세스에 도입되지 않도록 보장합니다. 이 시스템은 또한 임플란트 영역을 직접 볼 수있는 고해상도 이미징 장치 (High Resolution Imaging Unit) 를 포함합니다. 엔두라 (Endura) 5500 HP에도 반자동 (semi-automated) 프로세스 창 분석 머신 (window analysis machine) 을 비롯한 수많은 안전 기능이 장착되어 있어 결함을 감지하고 운영자에게 문제를 경고합니다. 또한, 이 도구에는 임플란트의 상태를 평가하는 데 사용할 수 있는 통합 프로세스 창 표시기 (integrated process window indicator) 가 포함되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP에는 AMAT 특허를받은 Flow-Control Valves가 장착되어 있어 가스 흐름을 정확하게 제어 및 모니터링할 수 있습니다. AMAT Endura 5500 HP는 뛰어난 성능과 신뢰성을 제공하도록 제작되었습니다. 이 자산은 유지 보수, 업그레이드 및 유연성이 용이하도록 설계되었습니다. 또한 최적의 임플란테이션 결과와 성능을 보장하도록 설계된 다양한 애플리케이션별 소프트웨어 (Application Specific Software) 도 함께 제공됩니다. 신뢰할 수 있고 성능이 뛰어난 이온 이식 원자로를 찾는 고객의 경우 APPLIED MATERIALS Endura 5500 HP가 이상적인 선택입니다. 최고 속도, 정밀도, 제어 기능을 결합하여 탁월한 이식 결과와 탁월한 처리량을 제공합니다. 이 원자로는 통합된 기능과 사용자 정의 가능한 소프트웨어 (customizable software) 를 통해 최고의 성능의 임플란트를 생산할 수 있습니다.
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