판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER SCM 650 #9283791

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 650은 대용량 박막 코팅 생산을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 ASM (Advanced Scanning Magnetron source) 을 기반으로 하여 접착, 동질성 및 레이어 두께가 좋은 고품질 코팅을 생산할 수 있습니다. ADIXEN SCM 650은 최대 4 개의 기판을 동시에 코팅 할 수 있으며, 총 코팅 면적은 800 평방 센티미터 이상입니다. ALCATEL SCM 650에는 터보 펌프 (turbo pump) 와 로터리 베인 펌프 (rotary vane pump) 가 포함 된 고 진공 장치가 장착되어 있습니다. 이러한 펌프 조합은 안정적이고 일관된 증착을 위해 빠른 진공 사이클링을 가능하게합니다. 스크러버, 대량 흐름 컨트롤러 및 플라즈마 모니터링이 가능한 가스 박스 (gas box) 는 프로세스 제어 및 가스 처리를 용이하게합니다. 이 기계는 광범위한 재료 (material) 와 기판 (기판) 구성을 지원하도록 설계되었으며, 다양한 산업 분야에 적합합니다. PFEIFFER SCM 650에는 증착율, 레이어 두께 및 기타 프로세스 매개변수를 기록하는 통합 MMS (Measurement Monitoring Tool) 가 포함되어 있습니다. 이를 통해 운영자는 일관된 프로세스 제어 및 품질 제어를 보장할 수 있습니다. 에셋은 또한 유연한 자동화 옵션을 갖추고 있으며, 사용자 정의 레시피, 자동 기판 로드, 언로드 및 자동 기판 방향을 만들 수 있습니다. SCM 650은 뛰어난 광학 및 전기 특성을 가진 박막을 생산할 수 있습니다. 이 모델은 금속, 유전체, 강유전체 및 반도체 재료를 코팅하기 위해 설계되었으며, 광전자, LCD, 태양 전지 및 기타 전자 부품과 같은 다양한 고급 장치 응용 분야에 적합합니다. ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 650은 대용량 코팅 어플리케이션을 위해 설계된 작고 안정적인 스퍼터링 장비입니다. 고급 고진공 시스템, 자동화된 프로세스 제어 및 측정 모니터링 (Automated Process Control and Measurement Monitoring) 이 장착되어 있어 고품질 박막 코팅 생산에 적합합니다. 광범위한 지원 자료 및 구성을 통해, 다양한 고급 장치 어플리케이션에 ADIXEN SCM 650 을 사용할 수 있습니다.