판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER SCM 600 #92235

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ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER SCM 600
판매
ID: 92235
Sputtering System.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 600은 산업 및 연구 응용 프로그램 모두에서 사용하도록 설계된 강력하고 다양한 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 다양한 스퍼터 소스 (sputter source) 를 사용하여 다양한 기판에 매우 얇은 레이어를 배치 할 수 있습니다. 이 장치는 표준 마그네트론 에미터, femtosecond laserinduced ablation source 및 정전기 플라즈마 소스를 포함하여 최대 8 개의 독립적 인 스퍼터링 소스를 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 특정 요구에 맞게 프로세스를 조정할 수 있습니다. 이 기계에는 다목적 도가니 스퍼터 소스가 기본으로 제공되며 플래시 어닐 유닛, 기화 소스 및 컴팩트 멀티 채널 마그네트론 (Compact Multi-Channel Magnetron) 소스와 같은 다양한 옵션이 포함됩니다. 이 도구에는 직경이 최대 8 "인 기판의 자동 기판 적재 및 언로드를 제공하는 내장 샘플 전송 에셋도 포함되어 있습니다. 이 모델에는 자동 종단점 모니터 (End-Point Monitor), 실시간 증착 모니터 (Real-Time Deposition Monitor), 기판 모니터링 (Substrate Monitoring), 샘플 챔버 환경 제어 (Environmental Control) 등 생산성 향상을 돕는 다양한 자동화 프로세스가 장착되어 있습니다. ADIXEN SCM 600은 접착 문제를 최소화하면서 nm 이하의 초박형 레이어 증착 속도와 매우 정확하고 반복 가능한 두께를 제공합니다. 또한 모듈성 (modularity) 을 염두에 두고 설계되었으므로, 장비는 사용자의 애플리케이션 요구에 맞게 쉽게 구성할 수 있습니다. 이 시스템에는 압력, 온도, 압력 모드, 가스, 전력, 목표 바이어스 등 사용자의 응용 프로그램에 맞게 조정 및 조정 할 수있는 다양한 프로세스 매개 변수가 있습니다. 또한 고급 데이터 수집/제어 시스템 (Advanced Data Collection and Control Machine) 과 데이터 관리를 위한 컴퓨터 제어 인터페이스 (Computer-controlled Interface), 프로세스 모니터링 및 최적화를 위한 원격 온라인 액세스 (Remote Online Access) 등이 포함되어 있습니다. 원격 작동 및 제어를 위한 그래픽 사용자 인터페이스뿐만 아니라, ALCATEL SCM 600 에는 중앙 모니터링 및 Control Station 에 툴을 연결하는 이더넷 인터페이스도 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 세계 어디에서나 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 손쉽게 관리하고 제어할 수 있습니다. 또한, 자산 (Asset) 은 최적의 성능을 보장하고 사용자가 위험 요소로부터 보호할 수 있도록 다양한 안전 (Safety) 기능을 갖추고 있습니다. 모든 관련 환경 안전 규정을 준수하도록 설계되었습니다. 또한 PFEIFFER SCM 600 은 구성 요소 장애 발생 시 사용자에게 경고를 주는 자동 유지 관리 (automatic maintenance) 기능과 함께 다운타임 최소화, 가용성 극대화를 위해 설계되었습니다. 전반적으로, SCM 600은 업계 및 연구 애플리케이션에 이상적인 수많은 고급 기능을 제공하는 강력하고 다양한 스퍼터링 (sputtering) 모델입니다. 이 장비는 뛰어난 성능, 반복성, 사용자 친화적인 기능을 제공하여, 어플리케이션을 스퍼터링하는 데 안정적이고 효율적인 선택입니다.
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